Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2002
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Werkstofftechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | 121 S. Ill., graph Darst. |
| ISBN: | 3826599691 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014172178 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20020826 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 020226s2002 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 963872648 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826599691 |9 3-8265-9969-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)50964091 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014172178 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 | ||
| 100 | 1 | |a Ahn, Hoon |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse |c Hoon Ahn |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2002 | |
| 300 | |a 121 S. |b Ill., graph Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Werkstofftechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 7 | |a Hochschulschrift |2 gtt | |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Borcarbonitride |0 (DE-588)4146308-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochfrequenzplasma |0 (DE-588)4498170-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Borcarbonitride |0 (DE-588)4146308-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Hochfrequenzplasma |0 (DE-588)4498170-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009715529&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009715529 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808226987837227008 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTVERZEICHNIS
1
E
INLEITUNG
.
4
2
G
RUNDLAGEN
.
6
2.1
S
YSTEM
B-C-N
.
6
2.1.1
DIE
AUS
KOHLENSTOFF
BESTEHENDEN
MATERIALIEN
.
7
2.1.1.1
DIAMANT
.
8
2.1.1.2
GRAPHIT
.
10
2.1.1.3
DIAMANTAEHNLICHER
KOHLENSTOFF
(DLC,
DIAMOND-LIKE-CARBON)
.
11
2.1.2
BOMITRID(BN)
.
12
2.1.2.1.
HEXAGONALES
BOMITRID
(H-BN)
.
14
2.1.2.2.
KUBISCHES
BOMITRID
(C-BN)
.
15
2.1.3
BORKARBID
.
16
2.1.4
KARBONITRID
.
17
2.1.5
BORKARBONITRID
.
18
2.2
D
AS
P
LASMA
:
D
ER
VIERTE
A
GGREGATZUSTAND
DER
M
ATERIE
.
21
2.2.1
NIEDERDRUCKPLASMEN
.
21
2.2.2
PLASMAGESTUETZTE
CHEMISCHE
ABSCHEIDUNG
AUS
DER
GASPHASE
.
22
2.2.3
GLEICHSTROMENTLADUNG
.
23
2.2.4
HOCHFREQUENZENTLADUNG
.
24
2.2.4.1
KAPAZITIVKOPPLUNG
(CC
HF
PACVD)
.
26
2.2.4.2
INDUKTIVKOPPLUNG
(IC
HF
PACVD)
.
27
2.3
S
CHICHTBILDUNG
UND
-W
ACHSTUM
.
28
2.3.1
PVD-VERFAHREN
.
28
2.3.2
CVD-VERFAHREN
.
30
2.3
O
PTISCHE
E
IGENSCHAFT
.
31
2.4.1
BRECHUNGSINDEX
.
32
2.4.2
T
RANSPARENZ
.
33
3
E
XPERIMENTELLER
A
UFBAU
UND
V
ERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
35
3.1
V
ERDAMPFERUND
S
PENDERMEDIEN
.
35
3.1.1
VERDAMPFER
.
35
3.1.2
VERWENDETE
SPENDERMEDIEN
.
36
3.1.3
DAS
VERDAMPFUNGSVERHALTEN
DER
SPENDERMEDIEN
.
38
3.2
E
XPERIMENTELLER
A
UFBAU
.
39
3.2.1
DAS
CC
HF
PACVD
ANLAGENKONZEPT
.
39
3.2.2
DAS
IC
HF
PACVD
ANLAGENKONZEPT
.
41
3.3
W
ERKSTOFFE
UND
P
ROBENVORBEREITUNG
.
43
3.4
S
CHICHT
-
UND
P
ROZESSOPTIMIERUNG
.
44
INHALTVERZEICHNIS
3.4.1
OPTISCHE
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
44
3.4.2
DIE
LANGMUIRSONDE
.
45
3.5
V
ERSUCHSPARAMETER
.
48
4
U
NTERSUCHUNGSVERFAHREN
.
50
4.1
S
CHICHTUNTERSUCHUNGEN
.
50
4.1.1
TOPOGRAPHIE
UND
MORPHOLOGIE
.
50
4.1.2
ABSCHEIDERATE
.
50
4.1.3
WDXUNDEDX
.
51
4.1.4
RUTHERFORD
RUECKSTREUUNGSSPEKTROMETRIE
(RBS)
.
51
4.1.5
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
53
4.1.6
ROENTGENSTRUKTURANALYSE
(XRD)
.
53
4.1.7
ESCA
.
54
4.1.8
FT-IR
SPEKTRUM
.
54
4.2
M
ECHANISCHE
U
NTERSUCHUNGEN
.
55
4.2.1
OBERFLAECHENRAUHIGKEIT
UND
SCHICHTDICKE
.
55
4.2.2
HAERTEMESSUNGEN
.
55
4.2.3
HAFTFESTIGKEIT
.
56
4.3
O
PTISCHE
U
NTERSUCHUNGEN
.
56
5
BCN
A
BSCHEIDUNGEN
MITTELS
CC
HF
PACVD
V
ERFAHREN
.
58
5.1
A
BSCHEIDERATE
.
58
5.2
T
OPOGRAPHIE
UND
B
RUCHMORPHOLOGIE
.
60
5.3
SCHICHTZUSAMMENSETZTUNG
.
60
5.4
B
INDUNGSTYPEN
.
65
5.4.1
ARGON
ALS
TRAEGERGAS
.
66
5.4.2
WASSERSTOFF
ALS
TRAEGERGAS
.
68
5.4.3
VERDAMPFERDRUCKAENDERUNG
.
69
5.5
M
IKROHAERTE
.
70
5.6
T
RANSPARENZ
.
71
5.6.1
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
.
71
5.6.2
EINFLUSS
DER
ABSCHEIDERATEN
.
72
5.7
K
URZFASSUNG
DER
BCN-A
BSCHEIDUNGEN
VON
CC
HF
PACVD-V
ERFAHREN
.
74
6
BCN
A
BSCHEIDUNGEN
MITTELS
IC
HF
PACVD-V
ERFAHREN
.
76
6.1
P
ROZESSOPTIMIERUNG
MIT
OES
.
76
6.1.1
EINFLUSS
DER
PLASMALEISTUNG
.
79
6.1.2
EINFLUSS
DES
PROZESSDRUCKS
.
80
6.1.3
EINFLUSS
DES
WASSERSTOFFANTEILS
IN
DER
GASZUSAMMENSETZUNG
.
82
2
INHALTVERZEICHNIS
6.2
L
ANGMUIRSONDE
.
83
6.3
A
BSCHEIDERATE
BEI
TMB
ALS
S
PENDERMEDIUM
.
88
6.4
M
IKROHAERTE
.
90
6.4.1
ABHAENGIGKEIT
DER
HAERTE
VON
DEM
PROZESSGASDRUCK
.
90
6.4.2
ABHAENGIGKEIT
DER
HAERTE
VON
DEM
PROZESSGASVERHAELTNIS
.
91
6.4.3
ABHAENGIGKEIT
DER
HAERTE
VON
DEM
B/C
UND
N/C-VERHAELTNIS
.
92
6.5
T
OPOGRAPGIE
UND
B
RUCHBILD
.
93
6.6
T
RANSMISSION
MIT
UV/VIS
S
PEKTROMETRIE
.
94
6.7
B
RECHNUNGSINDEX
MIT
E
LLIPSOMETRIE
.
95
6.8
H
AFTFESTIGKEIT
.
95
6.9
P
HOTOELRKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
97
6.10
P
HASENIDENTIFIZIERUNG
DURCH
R
OENTGENDIFFRAKTORMETRIE
.
100
6.11
B
INDUNSTYPEN
.
101
6.12
A
BSCHEIDUNG
VON
DURCHSICHTIGEN
UND
HARTEN
S
CHICHTEN
.
102
7
Z
USAMMENFASSUNG
.
104
A
NHANG
.
107
E
INLEITUNG
.
107
E
XPERIMENTELLER
A
UFBAU
.
109
E
RGEBNISSE
UND
D
ISKUSSION
.
110
Z
USAMMENFASSUNG
UND
A
USBLICK
.
114
L
ITERATURVERZEICHNIS
.
115
3 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Ahn, Hoon |
| author_facet | Ahn, Hoon |
| author_role | aut |
| author_sort | Ahn, Hoon |
| author_variant | h a ha |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014172178 |
| ctrlnum | (OCoLC)50964091 (DE-599)BVBBV014172178 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014172178</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20020826</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">020226s2002 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">963872648</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826599691</subfield><subfield code="9">3-8265-9969-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)50964091</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014172178</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Ahn, Hoon</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse</subfield><subfield code="c">Hoon Ahn</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2002</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">121 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Werkstofftechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gtt</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Borcarbonitride</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146308-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochfrequenzplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4498170-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Borcarbonitride</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146308-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Hochfrequenzplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4498170-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009715529&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009715529</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014172178 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-24T00:33:54Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826599691 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009715529 |
| oclc_num | 50964091 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 |
| owner_facet | DE-703 |
| physical | 121 S. Ill., graph Darst. |
| publishDate | 2002 |
| publishDateSearch | 2002 |
| publishDateSort | 2002 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Werkstofftechnik |
| spelling | Ahn, Hoon Verfasser aut Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse Hoon Ahn Aachen Shaker 2002 121 S. Ill., graph Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Werkstofftechnik Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001 Hochschulschrift gtt PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Borcarbonitride (DE-588)4146308-0 gnd rswk-swf Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Borcarbonitride (DE-588)4146308-0 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009715529&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Ahn, Hoon Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse Hochschulschrift gtt PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Borcarbonitride (DE-588)4146308-0 gnd Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4267316-1 (DE-588)4146308-0 (DE-588)4498170-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse |
| title_auth | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse |
| title_exact_search | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse |
| title_full | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse Hoon Ahn |
| title_fullStr | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse Hoon Ahn |
| title_full_unstemmed | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse Hoon Ahn |
| title_short | Synthese keramischer Schichten mittels plasmagestützter CVD-Prozesse |
| title_sort | synthese keramischer schichten mittels plasmagestutzter cvd prozesse |
| topic | Hochschulschrift gtt PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Borcarbonitride (DE-588)4146308-0 gnd Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd |
| topic_facet | Hochschulschrift PECVD-Verfahren Borcarbonitride Hochfrequenzplasma |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009715529&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT ahnhoon synthesekeramischerschichtenmittelsplasmagestutztercvdprozesse |