Phononenstreuung und Infrarotabsorption von temperinduzierten Sauerstoffdefekten in Silizium:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Osnabrück
<<Der>> Andere Verl.
2002
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | VII, 245 S. graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS
DER
WICHTIGSTEN
SYMBOLE
UND
ABKUERZUNGEN
9
1.
EINLEITUNG
11
2.
SAUERSTOFFDEFEKTE
IN
SILIZIUM
13
2.1.
KRISTALLZUCHTVERFAHREN
.
13
2.1.1.
CZOCHRALSKI-VERFAHREN
.
14
2.1.2.
FLOAT-ZONE
VERFAHREN
.
15
2.2.
PUNKTDEFEKTE
.
16
2.2.1.
INTERSTITIELLER
SAUERSTOFF
.
17
2.2.2.
SUBSTITUTIONELLER
KOHLENSTOFF
.
23
2.2.3.
SAUERSTOFF-KOHLENSTOFF-KOMPLEXE
.
24
2.2.4.
ELEKTRISCH
AKTIVE
KOMPLEXE
(THERMISCHE
DONATOREN)
.
25
2.3.
SAUERSTOFFPRAEZIPITATE
.
28
2.3.1.
KEIMBILDUNG
.
28
2.3.2.
PRAEZIPITATWACHSTUM
.
34
2.3.3.
MESSMETHODEN
.
37
2.3.4.
SAUERSTOFFPRAEZIPITE
UND
IHRE
SEKUNDAERDEFEKTE
IN
UNTER
SCHIEDLICHEN
TEMPERATURBEREICHEN
.
38
2.3.5.
DIE
ZUSAMMENSETZUNG
DER
SIO
:R
-PRAEZIPITATE
.
44
2.3.6.
EINFLUSS
DES
KOHLENSTOFFS
AUF
DIE
PRAEZIPITATION
.
44
2.3.7.
TECHNOLOGISCHE
BEDEUTUNG
(INTERNES
GETTEM)
.
50
3.
INFRAROTABSORPTION
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATE
52
INHALTSVERZEICHNIS
4.
PHONONENSTREUUNG
AN
AUSGEDEHNTEN
KRISTALLDEFEKTEN
55
5.
EXPERIMENTELLE
GRUNDLAGEN
59
5.1.
PHONONENSPEKTROSKOPIE
.
59
5.1.1.
ERZEUGUNG
VON
PHONONEN
MIT
SLTD
.
59
5.1.2.
NACHWEIS
VON
PHONONEN
MIT
SLTD
.
62
5.1.3.
HERSTELLUNG
DER
SLTD
UND
TIEFTEMPERATURANLAGE
.
64
5.1.4.
PHONONENTRANSMISSION
DURCH
DIE
PROBE
.
65
5.1.5.
ENERGIEAUFGELOESTE
MESSUNGEN
.
67
5.1.6.
RUECKSTREUEXPERIMENTE
.
75
5.1.7.
ZEITAUFGELOESTE
MESSUNGEN
.
77
5.1.8.
ANALYSE
DER
MESSUNGEN
.
78
5.1.9.
DIE
DSEC-PHASE
.
83
5.2.
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.
91
5.2.1.
DURCHFUEHRUNG
.
91
5.2.2.
BESTIMMUNG
DER
SAUERSTOFF
UND
KOHLENSTOFFKONZENTRA
TIONEN
IN
SILIZIUM
.
93
5.3.
SPEZIFISCHER
WIDERSTAND
.
98
5.4.
VERWENDETE
PROBEN
.
99
5.5.
DURCHFUEHRUNG
DER
TEMPERUNGEN
.
102
6.
TEMPEREXPERIMENTE
106
7.
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
UND
WIDERSTANDSMESSUNGEN
108
7.1.
DEFEKTKONZENTRATIONEN
IN
ABHAENGIGKEIT
VOM
TEMPERPROZESS
.
108
7.1.1.
1100
C-SCHRITT
.
109
7.1.2.
750
C-SCHRITT
.
112
7.1.3.
1050
C-SCHRITT
.
121
7.2.
SPEZIFISCHER
WIDERSTAND
.
124
7.2.1.
MITTLERE
TEMPERATUREN
(T
1000
C)
.
124
7.2.2.
HOEHERE
TEMPERATUREN
(T
1000
C)
.
125
7.3.
INFRAROTBANDEN
.
128
7.3.1.
UEBERBLICK
UND
ANPASSUNGEN
.
128
7.3.2.
BANDE
UM
1100
CM
-1
.
132
7.3.3.
BANDE
BEI
1230
CM"
1
.
133
VI
INHALTSVERZEICHNIS
7.3.4.
EINFLUSS
DER
1100
C-VBRTEMPERUNG
.
136
7.3.5.
BANDE
UM
830
CM
-1
.
138
7.3.6.
LADUNGSTRAEGER-UNTERGRUND
.
138
7.3.7.
O,-MODEN
DURCH
TEMPERUNGEN
UNTERSCHIEDLICH
BEEINFLUSST?
139
7.4.
DISKUSSION
DER
INFRAROTBANDEN
.
141
8.
PHONONENSPEKTROSKOPIE
145
8.1.
EINFLUSS
DES
KOHLENSTOFFS
AUF
DIE
PHONONENSTREUUNG
.
145
8.1.1.
NUKLEATIONSTEMPERUNG
BEI
750
C
.
145
8.1.2.
HOHER
KOHLENSTOFFGEHALT:
750
C
VS.
900
C
.
158
8.1.3.
AUSWIRKUNG
DES
KOHLENSTOFFGEHALTS
BEI
1000
C
.
165
8.1.4.
MEHRSTUFIGE
TEMPERUNGEN:
1050
C-SCHRITT
.
167
8.1.5.
VARIATION
DES
WACHSTUMSSCHRITTS
UND
C-KORRELIERTE
LINIEN
.
171
8,2.
EINFLUSS
DER
1100
C-VORTEMPERUNG
.
173
8.3.
DISKUSSION
DER
TEMPERINDUZIERTEN
STREUUNG
.
177
8.4.
SCHMALBANDIGE
PHONONENSTREUUNG
(A-RESONANZEN)
.
186
8.4.1.
ZEITLICHE
ENTWICKLUNG
.
186
8.4.2.
BEI
WELCHEN
TEMPERATUREN
TRETEN
DIE
LINIEN
AUF?
.
194
8.4.3.
KORRELATION
MIT
DEM
KOHLENSTOFF?
.
195
8.4.4.
KORRELATION
MIT
DEM
SAUERSTOFF?
.
196
8.4.5.
KORRELATION
MIT
DER
INFRAROTABSORPTION
.
203
8.4.6.
DRUCKABHAENGIGKEIT
.
206
8.5.
DISKUSSION
DER
SCHMALBANDIGEN
PHONONENSTREURESONANZEN
.
208
8.5.1.
WEITERE
EINKREISUNG
DER
STREUZENTREN
.
208
8.5.2.
MECHANISCHE
ODER
ELEKTRONISCHE
ANREGUNGEN?
.
210
9.
ZUSAMMENFASSUNG
215
A.
KRISTALLDATEN
222
B.
TEMPEREXPERIMENTE
223
LITERATURVERZEICHNIS
225
VII |
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