Lyshevski, S. E. (2002). MEMS and NEMS: Systems, devices and structures. CRC Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lyshevski, Sergey Edward. MEMS and NEMS: Systems, Devices and Structures. Boca Raton u.a: CRC Pr, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lyshevski, Sergey Edward. MEMS and NEMS: Systems, Devices and Structures. CRC Pr, 2002.
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