Diamant in der Mikrosystemtechnik: Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VIII, 178 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014136108 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030203 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 020206s2001 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 963877224 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)248739100 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014136108 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Adamschik, Mario |d 1971- |e Verfasser |0 (DE-588)123586933 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Diamant in der Mikrosystemtechnik |b Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen |c von Mario Adamschik |
| 264 | 1 | |c 2001 | |
| 300 | |a VIII, 178 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Ulm, Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 4 | |a Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren | |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dosiereinrichtung |0 (DE-588)4134928-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Array |0 (DE-588)4213727-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bioreaktor |0 (DE-588)4006780-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Bioreaktor |0 (DE-588)4006780-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dosiereinrichtung |0 (DE-588)4134928-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Array |0 (DE-588)4213727-5 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009685965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009685965 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812460629205712896 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 DIAMANT 4
2.1 UEBERSICHT 4
2.2 EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN 5
2.3 KRISTALLSTRUKTUR 6
2.4 DIAMANTHERSTELLUNG 8
2.5 CVD- DIAMANTABSCHEIDUNG 9
2.6 BEKEIMUNG 12
2.6.1 MECHANISCHES POLIEREN DER OBERFLAECHE 13
2.6.2 BEKEIMUNG MIT HILFE EINER ELEKTRISCHEN SPANNUNG 14
2.7 DOTIERUNG UND ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 15
2.7.1 BOR
15
2.7.2 STICKSTOFF 15
2.7.3 WASSERSTOFF , 20
2.8 DIAMANT-MWPACVD 22
3 DIAMANTMIKROREAKTORSYSTEM 24
3.1 UEBERBLICK CHEMISCHER MIKROSYSTEME 24
3.2 PRINZIP DES MIKROREAKTORSYSTEMS 25
3.3 AUFBAU UND TECHNOLOGIE 28
3.3.1 MIKROREAKTORCHIP 28
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/963877224
INHALTSVERZEICHNIS
3.3.2 MECHANISCHER TRAEGER 37
3.4 UEBERHITZUNG VON FLUESSIGKEITEN 3G
3.5 EXPERIMENTELLE CHARAKTERISIERUNG 42
3.5.1 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG 42
3.5.2 FLUIDDYNAMISCHE CHARAKTERISIERUNG ' 46
3.5.3 THERMISCHE SIMULATIONEN 54
3.6 SYNTHESE VON OLIGONUKLEOTIDEN 5G
3.6.1 THEORIE DES SYNTHESEVORGANGS 60
3.6.2 MISCHUNGSVERHALTEN AUF DEM REAKTIONSSUBSTRAT 62
3.6.3 SYNTHESEVORGANG 67
3.7 ZUSAMMENFASSUNG 68
4 DIAMANTMIKRORELAIS/-SCHALTER 70
4.1 INTEGRATION EINER ANSTEUERELEKTRONIK 70
4.2 MIKRORELAIS/MIKROSCHALTER UEBERSICHT 71
4.3 AUFBAU UND FUNKTION 72
4.4 THEORIE 74
4.4.1 KONTAKTMODELLE 74
4.4.2 KONTAKTABSTAND UND DURCHSCHLAGSPANNUNG 75
4.4.3 SCHWELLSPANNUNGSBERECHNUNG 75
4.5 HERSTELLUNG GG
4.5.1 TECHNOLOGIESCHRITTE ZUR HERSTELLUNG DER MIKROSCHALTER 80
4.5.2 TECHNOLOGIESCHRITTE ZUR HERSTELLUNG DER MIKRORELAIS 84
4.5.3 ABBILDUNGEN VERSCHIEDENER RELAIS BZW. SCHALTER 85
4.6 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN GG
4.6.1 MESSUNG DER MINIMAL NOTWENDIGEN KONTAKTKRAFT 88
4.6.2 MESSUNG DER SCHWELLSPANNUNGEN , 90
4.6.3 TEMPERATURABHAENGIGKEIT DER SCHWELLSPANNUNG 92
4.6.4 SCHICHTWIDERSTAENDE UND KONTAKTWIDERSTAENDE 93
4.6.5 WIDERSTAND IM DURCHGESCHALTETEN ZUSTAND 94
4.6.6 WIDERSTAND IM OFFENEN ZUSTAND (LECKSTROEME UND ISOLATIONSVERHALTEN)
96
4.6.7 DYNAMISCHES VERHALTEN 98
4.6.8 UEBERLASTVERSUCH 101
4.7 KONZEPT ZUR INTEGRATION DER RELAIS IN DAS MIKROREAKTORSYSTEM 102
4.8 ZUSAMMENFASSUNG 104
VI
INHALTSVERZEICHNIS
5 DIAMANT-PH-SENSOR
5.1 SAEURE-BASE-DEFINITION NACH BROENSTED 107
5.2 EIGENDISSOZIATION VON WASSER, PH-WERT 109
5.3
REDOXPOTENTIAL
UQ
5.4 EIGENSCHAFTEN DER DIAMANTOBERFLAECHE 112
5.4.1 WASSERSTOFFGESAETTIGTE DIAMANTOBERFLAECHE 112
5.5 DIAMANT-OGFET - HERSTELLUNG 115
5.6 DIAMANT-OGFET - CHARAKTERISIER
UNG HG
5.6.1 SCHICHTWIDERSTAENDE DES DOTIERTEN KANALGEBIETES 118
5.6.2 KANALCHARAKTERISIERUNG UND STEUERBARKEIT DER REFERENZ-FETS 118
5.6.3 PH-MESSUNGEN 120
5.6.4 STABILITAET DER SENSOREN 223
5.7 KONZEPT ZUR INTEGRATION DES PH-SENSORS IN DAS MIKROREAKTORSYSTEM 125
5.8 ZUSAMMENFASSUNG 12G
6 ZUSAMMENFASSUNG 228
7 ANHANG
132
7.1 DIE ELEMENTARE THEORIE DER BALKENBIEGUNG 132
7.1.1 ALLGEMEINES 132
7.1.2 VORAUSSETZUNGEN UND IHRE FOLGERUNGEN 134
7.1.3 DIFFERENTIALGLEICHUNG DER ELASTISCHEN LINIE 134
7.2 MATLABPROGRAMM ZUR BERECHNUNG DER BALKENAUSLENKUNG 140
7.3 ANSYS-PROGRAMM ZUR THERMISCHEN SIMULATION DER HEIZELEMENTE 142
7.4 ANSYS-PROGRAMM ZUR FLUIDISCHEN SIMULATION 149
7.5 MATERIALDATEN FUER DIE THERMISCHEN ANSYS-SIMULATIONEN 152
7.6 TECHNOLOGIEPARAMETER 153
7.7 MASKENLAYOUTS 157
7.7.1 MIKROREAKTORSYSTEM 257
7.7.2 PH-SENSOREN 258
7.7.3 MIKROSCHALTER 259
7.7.4 MIKRORELAIS 260
VII
INHALTSVERZEICHNIS
8 LITERATUR
9 LISTE DER VEROEFFENTLICHUNGEN
10 DANKSAGUNGEN |
| any_adam_object | 1 |
| author | Adamschik, Mario 1971- |
| author_GND | (DE-588)123586933 |
| author_facet | Adamschik, Mario 1971- |
| author_role | aut |
| author_sort | Adamschik, Mario 1971- |
| author_variant | m a ma |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014136108 |
| ctrlnum | (OCoLC)248739100 (DE-599)BVBBV014136108 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014136108</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030203</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">020206s2001 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">963877224</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)248739100</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014136108</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Adamschik, Mario</subfield><subfield code="d">1971-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123586933</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Diamant in der Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="b">Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen</subfield><subfield code="c">von Mario Adamschik</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VIII, 178 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Ulm, Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dosiereinrichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4134928-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Array</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213727-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bioreaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4006780-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Bioreaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4006780-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dosiereinrichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4134928-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Array</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213727-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009685965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009685965</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014136108 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T18:05:48Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009685965 |
| oclc_num | 248739100 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
| physical | VIII, 178 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| record_format | marc |
| spelling | Adamschik, Mario 1971- Verfasser (DE-588)123586933 aut Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen von Mario Adamschik 2001 VIII, 178 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ulm, Univ., Diss., 2001 Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Dosiereinrichtung (DE-588)4134928-3 gnd rswk-swf Array (DE-588)4213727-5 gnd rswk-swf Bioreaktor (DE-588)4006780-4 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Bioreaktor (DE-588)4006780-4 s Dosiereinrichtung (DE-588)4134928-3 s Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Array (DE-588)4213727-5 s Diamant (DE-588)4012069-7 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009685965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Adamschik, Mario 1971- Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Dosiereinrichtung (DE-588)4134928-3 gnd Array (DE-588)4213727-5 gnd Bioreaktor (DE-588)4006780-4 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)4134928-3 (DE-588)4213727-5 (DE-588)4006780-4 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen |
| title_auth | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen |
| title_exact_search | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen |
| title_full | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen von Mario Adamschik |
| title_fullStr | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen von Mario Adamschik |
| title_full_unstemmed | Diamant in der Mikrosystemtechnik Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen von Mario Adamschik |
| title_short | Diamant in der Mikrosystemtechnik |
| title_sort | diamant in der mikrosystemtechnik schwerpunkt mikroreaktorsystem fur biomedizinische anwendungen |
| title_sub | Schwerpunkt: Mikroreaktorsystem für biomedizinische Anwendungen |
| topic | Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Dosiereinrichtung (DE-588)4134928-3 gnd Array (DE-588)4213727-5 gnd Bioreaktor (DE-588)4006780-4 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd |
| topic_facet | Bioreaktor - Dosiereinrichtung - Mikrosystemtechnik - Array - Diamant - CVD-Verfahren Mikrosystemtechnik Dosiereinrichtung Array Bioreaktor CVD-Verfahren Diamant Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009685965&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT adamschikmario diamantindermikrosystemtechnikschwerpunktmikroreaktorsystemfurbiomedizinischeanwendungen |