(1999). Lithography for semiconductor manufacturing: 19 - 21 May 1999, Edinburgh, Scotland. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lithography for Semiconductor Manufacturing: 19 - 21 May 1999, Edinburgh, Scotland. Bellingham, Wash: SPIE, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lithography for Semiconductor Manufacturing: 19 - 21 May 1999, Edinburgh, Scotland. SPIE, 1999.
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