Wachstumsuntersuchungen an Bariumtitanat-Dünnschichten, hergestellt mit gepulster Laserdeposition:
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| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
2001
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| Schriftenreihe: | Berichte des Forschungszentrums Jülich
3898 |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
1
GRUNDLAGEN
4
1.1
FERROELEKTRISCHE
KRISTALLE
.
4
1.1.1
MESSUNG
DER
FERROELEKTRISCHEN
HYSTERESE
.
6
1.1.2
FERROELEKTRISCHE
DOMAENEN
.
7
1.2
BARIUMTITANAT
.
8
1.2.1
STABILITAETSKRITERIUM
FUER
PEROWSKITE
.
8
1.2.2
KRISTALLSTRUKTUR
UND
PHASENUEBERGAENGE
.
9
1.3
DIE
LANDAU-DEVONSHIRE-THEORIE
.
15
1.3.1
DIE
LANDAU-THEORIE
DES
PHASENUEBERGANGS
.
15
1.3.2
DEVONSHIRES
THEORIE
FUER
BATIOG
.
17
1.3.3
KOPPLUNG
VON
POLARISATION
UND
VERSPANNUNG
.
21
1.4
HETEROEPITAXIE
.
24
1.4.1
EINFLUSS
DES
SUBSTRATS
AUF
DAS
PHASENDIAGRAMM
FUER
EPITAKTISCHE
BATIOA-SCHICHTEN
.
26
1.5
BERECHNUNG
OPTISCHER
WELLENLEITER
.
30
1.5.1
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
MIT
HILFE
DER
MODENINDIZES
.
32
INH
AL
TSVERZEI
CHNIS
1.5.2
SIMULATION
PHOTONISCHER
BAUELEMENTE
.
32
1
2
EXPERIMENTELLE
METHODEN
34
2.1
GEPULSTE
LASERDEPOSITION
.
34
2.1.1
SENKRECHTE
PLASMA-AUSBREITUNG
(ON-AXIS)
.
36
2.1.2
STREIFENDE
PLASMA-AUSBREITUNG
(OFF-AXIS)
.
38
2.1.3
PLASMAANALYSE
MITTELS
LANGMUIR-SONDEN
.
41
2.1.4
BEUGUNG
SCHNELLER
ELEKTRONEN
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
(RHEED)
46
2.2
STRUKTURELLE
CHARAKTERISIERUNG
.
48
2.2.1
RUTHERFORD-RUECKSTREU-SPEKTROMETRIE
/
CHANNELING
.
48
2.2.2
ROENTGENBEUGUNG
.
49
2.2.3
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
50
2.2.4
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
50
2.3
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
51
2.3.1
PRISMENKOPPLUNG
.
51
3
ERGEBNISSE
53
3.1
BATIOS-SCHICHTEN
AUF
MGO
.
53
3.1.1
EINFLUSS
DER
ABLATIONSGEOMETRIE
.
53
3.1.2
EINFLUSS
DER
LASERENERGIE
.
60
3.1.3
NUKLEATION
.
67
3.2
BATIOS-SCHICHTEN
AUF
SRTIOS
.
72
3.2.1
EINFLUSS
DER
ABLATIONSGEOMETRIE
.
72
3.2.2
NUKLEATION
.
74
3.3
BATIOS-SCHICHTEN
AUF
MGAL
2
UE4
.
77
3.3.1
MGAL
2
O4
(OOL)-OBERFLAECHEN
.
78
IV
INHALTSVERZEICHNIS
3.4
SCHICHTWACHSTUM
AUF
SILIZIUM
.
80
3.4.1
OPTISCHE
ISOLIERUNG
.
80
3.4.2
Y2O3:ZRO2*SCHICHTEN
AUF
SILIZIUM
.
83
3.5
BATIOS-SCHICHTEN
AUF
AI2O3
.
85
3.6
VERGLEICH
DER
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
86
ZUSAMMENFASSUNG
90
LITERATURVERZEICHNIS
94
DANKSAGUNG
/
ACKNOWLEDGEMENT
101
V |
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