Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | VII, 111 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826596528 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014049617 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20020801 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 011204s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 963165763 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826596528 |9 3-8265-9652-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76332673 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014049617 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 100 | 1 | |a Lohse, Oliver |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher |c Oliver Lohse |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2001 | |
| 300 | |a VII, 111 S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Halbleitertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtkondensator |0 (DE-588)4179520-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ferroelektrikum |0 (DE-588)4154121-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleiterspeicher |0 (DE-588)4120419-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausgleichsvorgang |0 (DE-588)4206612-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Verlustleistung |0 (DE-588)4187881-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Keramikkondensator |0 (DE-588)4138377-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleiterspeicher |0 (DE-588)4120419-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Schichtkondensator |0 (DE-588)4179520-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Keramikkondensator |0 (DE-588)4138377-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ferroelektrikum |0 (DE-588)4154121-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Verlustleistung |0 (DE-588)4187881-4 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Ausgleichsvorgang |0 (DE-588)4206612-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009621739&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009621739 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808045994510647296 |
|---|---|
| adam_text |
V
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1.1
UEBERSICHT
UND
MOTIVATION
.
1
1.2
ZIELSETZUNG
.
3
2
GRUNDLAGEN
2.1
FERROELEKTRISCHE
MATERIALIEN
.
5
2.2
FUNKTIONSWEISE
DES
FERROELEKTRISCHEN
SPEICHERBAUELEMENTS
.
7
2.3
FERROELEKTRISCHES
POLARISATIONSSCHALTEN
IN
EINKRISTALLEN
.
10
2.4
FERROELEKTRISCHES
POLARISATIONSSCHALTEN
IN
DUENNEN
SCHICHTEN
.
15
3
PROBENHERSTELLUNG
3.1
INTEGRATION
ELEKTROKERAMISCHER
SCHICHTEN
.
19
3.2
AUFBAU
DER
PROBEN
.
20
3.3
HERSTELLUNGSMETHODEN
.
21
3.4
PHYSIKALISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
24
4
METHODEN
DER
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNG
4.1
PC-BASIERTES
MESSSYSTEM
.
29
4.1.1
MESSPRINZIP
.
30
4.2
MESSPROZEDUREN
.
32
4.2.1
HYSTERESEKURVE
.
32
4.2.2
BESTIMMUNG
DER
RELAXATION
DER
REMANENTEN
POLARISATION
.
33
4.2.3
QUASI-STATISCHE
HYSTERESEKURVE
.
35
4.2.4
SPANNUNGSSPRUNG-METHODE
.
37
4.2.5
KLEINSIGNALMESSUNG
.
41
5
MESSERGEBNISSE
5.1
FREQUENZABHAENGIGE
VERLUSTE
BEI
GROSSSIGNALMESSUNGEN
.
43
5.1.1
VERLUSTE
DURCH
GLEICHSTROMLEITFAEHIGKEIT
.
44
5.1.2
WECHSELSTROMVERLUSTE
IM
MATERIALSYSTEM
SRBI
2
TA2O
9
.
45
5.1.3
WECHSELSTROMVERLUSTE
IM
MATERIALSYSTEM
PB(ZR,TI)O
3
.
51
5.2
TRANSIENTES
VERHALTEN
DER
POLARISATION
BEIM
SPANNUNGSSPRUNG
.
54
5.2.1
TRANSIENTES
VERHALTEN
DER
POLARISATION
IN
SRBI
2
TA2O
9
.
55
VI
5.2.2
TRANSIENTES
VERHALTEN
DER
POLARISATION
IN
PB(ZR,TI)O
3
.
61
5.3
KLEINSIGNALVERHALTEN
WAEHREND
POLARISATIONSUMKEHR
.
67
5.3.1
DISPERSION
DER
KLEINSIGNALKAPAZITAET
.
67
5.3.2
ERHOEHUNG
DER
WECHSELSTROMLEITFAEHIGKEIT
WAEHREND
POLARISATIONSUMKEHR
68
5.4
DISKUSSION
DER
MESSERGEBNISSE
.
73
6
MODELLIERUNG
6.1
MODELLE
DER
FERROELEKTRISCHEN
HYSTERESE
.
79
6.1.1
ISING-MODELL
.
79
6.1.2
FINITE-ELEMENTE-MODELL
.
80
6.1.3
PREISACH-MODELL
.
80
6.1.4
MODELL
AUS
DISKRETEN
BAUELEMENTEN
.
81
6.2
MODELLIERUNG
DES
TRANSIENTEN
VERHALTENS
DER
POLARISATION
.
82
6.2.1
KOHNOGOROV-AVRAMI-MODELL
.
82
6.2.2
IMPLEMENTIERUNG
DES
KA-MODELLS
.
83
6.2.3
VERGLEICH
SIMULATION
UND
MESSUNG
.
85
6.2.4
VERZOEGERUNG
DURCH
DIELEKTRISCHE
VERLUSTE
.
86
6.2.5
IMPLEMENTIERUNG
DER
DIELEKTRISCHEN
VERLUSTE
.
92
6.2.6
SIMULATIONSETGEBNISSE
.
93
7
SCHLUSSFOLGERUNGEN
7.1
ZUSAMMENFASSSUNG
.
101
7.2
AUSBLICK
.
103
LITERATUR |
| any_adam_object | 1 |
| author | Lohse, Oliver |
| author_facet | Lohse, Oliver |
| author_role | aut |
| author_sort | Lohse, Oliver |
| author_variant | o l ol |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014049617 |
| ctrlnum | (OCoLC)76332673 (DE-599)BVBBV014049617 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014049617</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20020801</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">011204s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">963165763</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826596528</subfield><subfield code="9">3-8265-9652-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76332673</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014049617</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lohse, Oliver</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher</subfield><subfield code="c">Oliver Lohse</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 111 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Halbleitertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtkondensator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179520-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ferroelektrikum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154121-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiterspeicher</subfield><subfield code="0">(DE-588)4120419-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausgleichsvorgang</subfield><subfield code="0">(DE-588)4206612-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Verlustleistung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187881-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Keramikkondensator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4138377-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiterspeicher</subfield><subfield code="0">(DE-588)4120419-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Schichtkondensator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4179520-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Keramikkondensator</subfield><subfield code="0">(DE-588)4138377-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ferroelektrikum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154121-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Verlustleistung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4187881-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Ausgleichsvorgang</subfield><subfield code="0">(DE-588)4206612-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009621739&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009621739</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014049617 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-22T00:37:05Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826596528 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009621739 |
| oclc_num | 76332673 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | VII, 111 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| spelling | Lohse, Oliver Verfasser aut Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher Oliver Lohse Aachen Shaker 2001 VII, 111 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Halbleitertechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001 Schichtkondensator (DE-588)4179520-9 gnd rswk-swf Ferroelektrikum (DE-588)4154121-2 gnd rswk-swf Halbleiterspeicher (DE-588)4120419-0 gnd rswk-swf Ausgleichsvorgang (DE-588)4206612-8 gnd rswk-swf Verlustleistung (DE-588)4187881-4 gnd rswk-swf Keramikkondensator (DE-588)4138377-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Halbleiterspeicher (DE-588)4120419-0 s Schichtkondensator (DE-588)4179520-9 s Keramikkondensator (DE-588)4138377-1 s Ferroelektrikum (DE-588)4154121-2 s Verlustleistung (DE-588)4187881-4 s Ausgleichsvorgang (DE-588)4206612-8 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009621739&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Lohse, Oliver Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher Schichtkondensator (DE-588)4179520-9 gnd Ferroelektrikum (DE-588)4154121-2 gnd Halbleiterspeicher (DE-588)4120419-0 gnd Ausgleichsvorgang (DE-588)4206612-8 gnd Verlustleistung (DE-588)4187881-4 gnd Keramikkondensator (DE-588)4138377-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4179520-9 (DE-588)4154121-2 (DE-588)4120419-0 (DE-588)4206612-8 (DE-588)4187881-4 (DE-588)4138377-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher |
| title_auth | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher |
| title_exact_search | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher |
| title_full | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher Oliver Lohse |
| title_fullStr | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher Oliver Lohse |
| title_full_unstemmed | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher Oliver Lohse |
| title_short | Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher |
| title_sort | verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen dunnschichtkondensatoren fur hochintegrierte nicht fluchtige halbleiterspeicher |
| topic | Schichtkondensator (DE-588)4179520-9 gnd Ferroelektrikum (DE-588)4154121-2 gnd Halbleiterspeicher (DE-588)4120419-0 gnd Ausgleichsvorgang (DE-588)4206612-8 gnd Verlustleistung (DE-588)4187881-4 gnd Keramikkondensator (DE-588)4138377-1 gnd |
| topic_facet | Schichtkondensator Ferroelektrikum Halbleiterspeicher Ausgleichsvorgang Verlustleistung Keramikkondensator Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009621739&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT lohseoliver verlustmechanismeninferroelektrischenkeramischendunnschichtkondensatorenfurhochintegriertenichtfluchtigehalbleiterspeicher |