Die ART-MISIL-Solarzelle: Einführung und Optimierung einer neuartigen Solarzellentechnologie
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | XII, 173 S. Ill., graph. Darst. |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
V
ERZEICHNIS
DER
A
BKUERZUNGEN
UND
S
YMBOLE
V
1
E
INLEITUNG
1
2
T
HEORETISCHE
G
RUNDLAGEN
5
2.
1
WICHTIGE
ZUSAMMENHAENGE
DER
HALBLEITERPHYSIK
_
5
2.1.1
ABSORPTION
VON
LICHT,
GENERATION
VON
LADUNGSTRAEGERN
_
6
2.1.2
LADUNGSTRAEGCRRCKOMBINATION
_
7
2.1.3
OBERFLAECHENREKOMBINATION
_
10
2.1.4
GRUNDGLEICHUNGCN
DER
HALBLEITERPHYSIK
10
2.2
THEORIE
DES
DIFFUNDIERTEN
PN-UEBERGANGS
_
11
2.2.1
DER
UNBELASTETE
PW-UEBERGANG
_
11
2.2.2
DER
BELASTETE
PN-UEBERGANG
_
13
2.2.3
DER
BELEUCHTETE
PN-UEBERGANG
15
2.3
DER
INFLUCNZICRTE
PN-UEBERGANG
16
2.4
DER
MIS-TUNNELKONTAKT
16
2.5
KENNGROESSEN
EINER
SOLARZELLE
22
2.6
VCRLUSTMECHANISMEN
IN
SOLARZELLEN
23
2.7
OPTIK
_
24
2.7.1
SICHTBARES
LICHT
-
SONNENLICHT
_
24
2.7.2
REFLEXION,
ABSORPTION
UND
TRANSMISSION
_
24
2.7.3
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
SILICIUM
_
26
2.7.4
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
ZUR
REFLCXIONSVERMINDCRUNG
26
3
M
ESSTECHNIK
29
3.1
OPTIKLABOR
29
3.2
MW-PCD-MCSSPLATZ
30
3.3
SUNALYZCR
32
3.4
SPECTRAL
RESPONSE-MESSPLATZ
34
3.5
LBIC-MCSSPLATZ
_
36
3.5.1
BESCHREIBUNG
DES
MCSSPLATZES
_
3
6
3.5.2
DIE
LBIC-MESSBOX
_
38
3.5.3
DAS
STEUERPROGRAMM
41
II
I
NHALTS
VERZEICHNIS
4
MISIL-S
OLARZELLEN
DER
ERSTEN
UND
DER
ZWEITEN
G
ENERATION
43
4.1
HISTORISCHE
ENTWICKLUNG
DER
INVCRSIONSSCHICHTSOLARZCLLEN
43
4.2
DIE
STANDARD-MISIL-SOLARZCLLC
45
4.2.1
AUFBAU
UND
HERSTELLUNG
45
4.2.2
UNTERSCHIEDLICHE
TYPEN
VON
MISIL-SOLARZELLEN
DER
ERSTEN
GENERATION
47
4.2.3
GRENZEN
DES
WIRKUNGSGRADES
DER
STANDARD-MISIL-SOLARZCLLC
48
4.2.3.1
DIE
VORDCRSCITCNMCTALLISICRUNG
UND
DER
MIS-KONTAKT
48
4.2.3.2
DAS
ZWISCHCNFINGCRGCBICT
DER
MISIL-SOLARZELLC
50
4.3
MISIL-SOLARZELLEN
DER
ZWEITEN
GENERATION
51
4.3.1
DIETRUNCATED
PYRAMID
MISIL-SOLARZELLE
51
4.3.2
DIE
ART-MISIL-SOLARZCLLC
52
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
VON
KAPITEL
4
54
5
M
ECHANISCHE
O
BERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
55
5.1
MECHANISCHE
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
VON
SILICIUM
MIT
EINER
CHIPSAEGE
55
5.1.1
BESCHREIBUNG
DER
CHIPSAEGE
55
5.1.2
GRUNDLAGEN
DES
MATCRIALABTRAGS
DURCH
SCHLEIFEN
56
5.1.3
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
_
57
5.1.4
DAMAGE
-UND
KONTUR-AETZE
58
5.2
MECHANISCHE
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
VON
SILICIUM
MIT
EINER
DRAHTSAEGE
61
5.2.1
GRUNDLAGEN
DES
MATCRIALABTRAGS
DURCH
LAEPPEN
61
5.2.2
BESCHREIBUNG
DER
DRAHTLAEPPMASCHINC
62
5.2.3
OPTIMIERUNG
DES
VERFAHRENS
_
66
5.2.4
DAMAGE
UND
KONTUR-AETZE
71
5.3
DCTAILUNTCRSUCHUNGCN
ZUR
MECHANISCHEN
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
73
5.3.1
KRISTALLSCHAEDIGUNG
DURCH
DIE
MECHANISCHE
OBERFLAECHENSTRUKTURIERUNG
73
5.3.2
AUSARBEITUNG
VON
MATHEMATISCH
DARSTELLBAREN
FORMEN
DER
OBERFLAECHENSTRUKTUREN
74
5.3.3
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
MECHANISCH
STRUKTURIERTEN
OBERFLAECHE
77
5.4
ZUSAMMENFASSUNG
VON
KAPITEL
5
78
6
P
ASSIVIERUNG
DER
H
ALBLEITEROBERFLAECHEN
81
6.1
DIE
ZCLLRIICKSCITC
81
6.2
DIE
ZCLLVORDCRSCITC
84
6.3
DCTAILUNTCRSUCHUNGCN
AN
DER
VORDCRSCITCNPASSIVIERUNG
86
6.3.1
UV-STABILITAET
86
6.3.2
SCHICHTWIDERSTAND
UND
SCRICNWIDCRSTANDSANTCIL
87
6.3.3
OPTIK
92
6.4
ZUSAMMENFASSUNG
VON
KAPITEL
6
95
7
H
ERSTELL
UNG
DER
K
ONTAKTOEFFNUNGEN
9
7
7.1
HERSTELLUNG
DER
KONTAKTOEFFNUNGEN
MITTELS
CHEMISCH-MECHANISCHER
POLITUR
(CMP)
97
7.1.1
ALLGEMEINE
BESCHREIBUNG
DER
CMP-TCCHNIK
98
7.1.2
TECHNOLOGIE
100
7.1.2.1
AUFBAU
DER
POLIERMASCHINE
100
INHALTSVERZEICHNIS
III
7.1.2.2
ARBEITSABLAUF
DES
POLICRPROZESSCS
101
7.1.2.3
ERWEITERUNG
DER
POLIERMASCHINE
FUER
DEN
ART-PROZCSS
102
7.1.3
OPTIMIERUNG
DES
POLICRPROZESSCS
104
7.1.4
BESTIMMUNG
DER
OPTIMALEN
BREITE
DER
KONTAKTOEFFNUNGEN
115
7.2
HERSTELLUNG
DER
KONTAKTOEFFNUNGEN
MITTELS
ALUMINIUM/SILICIUMOXID
LIFT
OFF-TECHNIK
115
7.3
ZUSAMMENFASSUNG
VON
KAPITEL
7
117
8
D
ER
F
RONTKONTAKT
DER
ART-MISIL-S
OLARZELLE
119
8.1
TECHNOLOGIE
119
8.2
EINBAU
VON
CAESIUM
IN
DAS
KONTAKTSYSTEM
122
8.3
VORDCRSCITENMETALLISICRUNG
MITTELS
SCHRAEGAUFDAMPFVCRFAHRCN
_
127
8.3.1
EIGENSCHAFTEN
SCHRAEG
AUFGEDAMPFTER
METALLE
128
8.3.2
OPTIMIERUNG
DES
SCHRAEGAUFDAMPFVCRFAHRCNS
FUER
DIE
ART-MISIL-SOLARZELLE
_
131
8.3.2.1
TESTSTRUKTUR
131
8.3.2.2
VERLAUF
DES
WACHSTUMS
SCHRAEG
AUFGEDAMPFTEN
ALUMINIUMS
133
8.3.2.3
EINFLUSS
DES
AUFDAMPFWINKCLS
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
DES
ALUMINIUMS
_
135
8.3.2.3.1
STRUKTUR
UND
DICHTE
DER
ALUMINIUMSCHICHT
_
135
8.3.2.3.2
AETZRATC
SCHRAEG
AUFGEDAMPFTER
ALUMINIUMSCHICHTEN
136
8.3.2.4
EINFLUSS
DES
AUFDAMPFWINKCLS
AUF
DIE
ELEKTRISCHEN
EIGENSCHAFTEN
DES
MIS-KONTAKTES
137
8.3.2.5
EINFLUSS
WEITERER
PARAMETER
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
DES
ALUMINIUMS
_
138
8.3.3
ABSCHATTUNGSVCRLUSTC
SCHRAEG
BEDAMPFTER
MECHANISCH
STRUKTURIERTER
SILICIUMOBCRFLAECHCN
139
8.3.4
HERSTELLUNG
DES
BUSBARS
140
8.3.5
ANTEIL
DER
VORDCRSCITENMETALLISICRUNG
AM
SCRICNWIDERSTAND
DER
ART-MISIL-SOLARZELLE
141
8.3.5.1
ANTEIL
DER
FINGER
AM
SERIENWIDERSTAND
_
141
8.3.5.2
UEBERGANGSWIDERSTAND
FINGER
BUSBAR
143
8.3.5.3
ANTEIL
DES
BUSBARS
AM
SCRICNWIDERSTAND
143
8.3.5.4
GESAMTER
SCRIENWIDCRSTANDSANTCIL
DER
VORDCRSCITCNMCTALLISIERUNG
_
144
8.3.6
FAZIT
144
8.4
ALUMINIUMAETZE
145
8.5
PASSIVIERUNG
DES
KONTAKTBEREICHES
146
8.6
ZUSAMMENFASSUNG
VON
KAPITEL
8
150
9
Z
ELLERGEBNISSE
_
_
151
10
Z
USAMMENFASSUNG
UND
A
USBLICK
_
_
157
11
L
ITERATURVERZEICHNIS
_
_
161
12
L
ISTE
DER
WISSENSCHAFTLICHEN
B
EITRAEGE
_
_
169
13
D
ANKSAGUNG
_
_
171
14
W
ISSENSCHAFTLICHER
W
ERDEGANG
173 |
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