Diffraktive optische Elemente für Strahlformung und Optikprüfung:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
1
1.1
UEBERBLICK
.
1
1.2
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
.
3
2
OPTISCHE
GRUNDLAGEN
5
2.1
INTERFERENZ
UND
BEUGUNG
.
5
2.2
PARTIELLE
KOHAERENZ
.
6
2.2.1
ZEITLICHE
UND
RAEUMLICHE
KOHAERENZ
.
7
2.2.2
WECHSELSEITIGE
INTENSITAET
UND
KOMPLEXER
KOHAERENZFAKTOR
.
9
2.2.3
KOHAERENZGEBIET
.
9
2.2.4
LICHTQUELLEN
.
12
2.2.5
AUSBREITUNG
DER
WECHSELSEITIGEN
INTENSITAET
.
14
2.2.6
EINFLUSS
DER
TRANSMISSIONSFUNKTION
.
15
3
GRUNDLAGEN
DER
CGHS
17
3.1
HOLOGRAMMKODIERUNG
.
18
3.1.1
SAMPLING
UND
QUANTISIERUNG
.
18
3.1.2
DIREKTE
PHASENKODIERUNG
.
19
3.2
FEHLERBETRACHTUNG
FUER
GEBLAZTE
GITTER
.
20
3.3
WELLENFRONTGENAUIGKEIT
.
23
3.4
KODIERUNG
MEHRERER
WELLENFRONTEN
.
24
3.4.1
SUPERPOSITION
.
25
3.4.2
APERTURSEGMENTATION
.
27
IV
INHALTSVERZEICHNIS
4
CGHS
FUER
STRAHLFORMUNG
31
4.1
DESIGNMETHODEN
FUER
KOHAERENTES
LICHT
.
31
4.1.1
ITERATIVER
FOURIER-TRANSFORMATIONS-ALGORITHMUS
.
32
4.1.2
INVERSES
RAYTRACING
.
36
4.2
CGHS
FUER
PARTIELL
KOHAERENTES
LICHT
.
41
4.2.1
REKONSTRUKTIONSVERHALTEN
.
42
4.2.2
STRAHLHOMOGENISIERUNG
.
43
4.2.3
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
45
5
CGHS
FUER
OBERFLAECHENPRUEFUNG
59
5.1
QUASI-ABSOLUT
TEST
VON
ASPHAEREN
.
60
5.1.1
PRINZIP
.
60
5.1.2
STOERENDE
BEUGUNGSORDNUNGEN
.
62
5.1.3
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
.
69
5.2
ZUR
CGH-BERECHNUNG
.
75
5.2.1
SENKRECHTE
INZIDENZ
.
75
5.2.2
VEKTORBASIERTE
STUKTURBESCHREIBUNG
.
80
5.2.3
STREIFENDE
INZIDENZ
.
83
6
AUSBLICK
89
A
SIMULATION
DER
LICHTAUSBREITUNG
91
A.L
KOHAERENTES
LICHT
.
91
A.2
PARTIELL
KOHAERENTES
LICHT
.
93
B
HERSTELLUNG
VON
PHASENHOLOGRAMMEN
97
B.L
STRUKTURIERUNG
.
97
B.2
STRUKTURBESCHREIBUNG
UND
DATENMENGENUMFANG
.
101
C
LASERLITHOGRAPHIESYSTEM
LRS-18
105
C.L
FUNKTIONSWEISE
UND
SPEZIFIKATIONEN
.
105
C.2
HIGH-RESOLUTION
FEATURE
.
106
C.3
WEITERE
TECHNISCHE
DETAILS
.
108
INHALTSVERZEICHNIS
V
D
MATHEMATISCHE
ERGAENZUNG
ZU
KAPITEL
5
111
LITERATURVERZEICHNIS
117
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
UND
TAGUNGSBEITRAEGE
121
DANKSAGUNG
123
LEBENSLAUF
125 |
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