STM- und XPS-Untersuchungen zum Reaktionsverhalten von TEOS auf Silicium:
Gespeichert in:
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| Format: | Elektronisch Software E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2000
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| Beschreibung: | Ulm, Univ., Diss., 2000. - Titel auf der Beil. |
| Beschreibung: | 1 CD-ROM 12 cm Beil. ([1] Bl.) |
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