Synthese epitaktischer Aluminiumnitridschichten mittels ionenstrahlgestützter Laserablation:
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| Sprache: | German |
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Berlin
Mensch-und-Buch-Verl.
2001
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| Schriftenreihe: | Forschungsberichte aus den Naturwissenschaften
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
1
1.1
DER
III-V-HALBLEITER
ALUMINIUMNITRID
.
1
1.2
LONENSTRAHLGESTUETZTE
LASERABLATION
ALS
VERFAHREN
ZUR
SCHICHTSYNTHESE
.
2
2
EIGENSCHAFTEN
DES
KRISTALLINEN
ALUMINIUMNITRIDS
4
2.1
DIE
STRUKTUR
VON
AIN
UND
DEN
SUBSTRATEN
FUER
AIN-SCHICHTEN
.
4
2.2
ELEKTRISCHE
UND
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
7
3
SCHICHTHERSTELLUNG
MITTELS
GEPULSTER
LASERABLATION
10
3.1
UEBERSICHT
DER
HERSTELLUNGSVERFAHREN
FUER
AIN-SCHICHTEN
.
10
3.2 AUFBAU
DER
LASERABLATIONSANLAGE
.
12
3.3
BESCHREIBUNG
DER
VORGAENGE
IM
BESTRAHLTEN
TARGET
.
16
3.4 AUSBILDUNG
DES
ABLATIONSPLASMAS
.
21
3.5
GRUNDLEGENDES
ZUM
SCHICHTWACHSTUM
.
25
4
VERFAHREN
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DUENNER
SCHICHTEN
29
4.1
ROENTGENSTRUKTURANALYSE
.
29
4.1.1
GRUNDLAGEN
DER
ROENTGENBEUGUNG
.
29
4.1.2
BESTIMMUNG
VON
MITTLERER
KORNGROESSE
UND
SCHICHTSPANNUNG
.
33
4.1.3
TEXTURUNTERSUCHUNGEN
AN
DUENNEN
SCHICHTEN
.
36
4.2
LONENSTRAHLANALYSEVERFAHREN
.
39
4.2.1
WECHSELWIRKUNG
VON
IONEN
MIT
MATERIE
.
39
4.2.2
STOECHIOMETRIEBESTIMMUNG
MIT
HILFE
DER
ELASTISCHEN
VORWAERTSSTREUANALYSE
(ERDA)
.
43
4.2.3
RUTHERFORD-RUECKSTREUUNG
LEICHTER
HELIUMIONEN
(RBS)
.
45
II
INHALTSVERZEICHNIS
5
ERGEBNISSE
DER
SCHICHTHERSTELLUNG
DURCH
LASERABLATION
47
5.1
AUSWIRKUNGEN
DER
LASERBESTRAHLUNG
AUF
DAS
ABLATIONSTARGET
.
47
5.2
STOECHIOMETRIE
UND
FREMDELEMENTE
DER
AIN-SCHICHTEN
.
49
5.3
WACHSTUM
VON
AIN
AUF
SILIZIUM
.
51
5.4
EPITAXIE
VON
AIN
AUF
C-SAPHIR
.
54
5.5
DIE
VERSCHIEDENEN
ORIENTIERUNGSBEZIEHUNGEN
VON
AIN
ZU
R-SAPHIR
.
60
5.6
SCHICHTWACHSTUM
AUF
6H-SIC
.
64
6
AUSWIRKUNGEN
EINER
LONENBESTRAHLUNG
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
68
6.1
GITTERDEFORMATION
DURCH
LONENBESCHUSS
.
68
6.1.1
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
GITTERDEFORMATION
.
68
6.1.2
EINFLUSS
DER
GITTERDEFORMATION
AUF
DIE
EPITAXIE
.
71
6.2
AUSWIRKUNG
DES
LONENBESCHUSSES
AUF
DIE
KRISTALLITORIENTIERUNG
.
72
6.3
MODELLE
ZUR
ERKLAERUNG
DER
GITTERDEFORMATION
.
74
6.3.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
DEFEKTSTRUKTUR
.
74
6.3.2
URSACHEN
DER
IONENINDUZIERTEN
SCHICHTSPANNUNG
.
78
6.3.3
MECHANISMEN
DER
DEFEKTERZEUGUNG
DURCH
LONENBESTRAHLUNG
.
83
7
ZUSAMMENFASSUNG
90
LITERATURVERZEICHNIS
92 |
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