Verfügbarkeit: Handbuch Mikrotechnik

Handbuch Mikrotechnik: 47 Tabellen

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	München [u.a.] Hanser 2002
Schlagworte:	Mikrosystemtechnik
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS AUTORENVERZEICHNIS . XIII TEIL A: ENTWURF UND SIMULATION VON MIKROSYSTEMEN . 1 1 MODELLE UND WERKZEUGE . 1 1.1 EINLEITUNG . 1 1.2 METHODEN UND MODELLE FUER DEN MIKROSYSTEMENTWURF . 2 1.3 ENTWURFSWERKZEUGE FUER MIKROSYSTEME . 25 1.4 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK . 39 LITERATUR . 39 2 SIMULATION VON MIKROSYSTEMEN . 41 2.1 EINLEITUNG . 41 2.2 GRUNDKONZEPTE UND STRUKTUR DER MODELLE . 46 2.3 SIMULATIONSRECHNUNGEN IN DER PRAXIS . 61 2.4 SPEZIFISCHE PROBLEMSTELLUNGEN AUS DER MIKROSYSTEMTECHNIK . 71 2.5 TRENDS UND ZUKUENFTIGE ENTWICKLUNGEN . 80 LITERATUR . 81 TEIL B: ANWENDUNG KONVENTIONELLER FERTIGUNGSVERFAHREN AUF DIE MIKROTECHNIK . 83 1 SPANENDE MIKROBEARBEITUNG . 83 1.1 EINLEITUNG/BESCHREIBUNG . 83 1.2 TECHNIK . 84 1.3 EINSATZMOEGLICHKEITEN . 98 1.4 TRENDS . 102 LITERATUR . 103 2 LASERMIKROBEARBEITUNG . 105 2.1 EINFUEHRUNG . 105 2.2 ABTRAGENDE VERFAHREN . 106 2.3 FUEGETECHNIKEN . 131 2.4 AUSBLICK . 140 LITERATUR . 140 X INHALTSVERZEICHNIS 3 MIKROABFORMUNG . 144 3.1 EINLEITUNG . 144 3.2 VERFAHREN DER MIKROABFORMUNG . 145 3.3 TECHNIK DER MIKROABFORMUNG . 157 3.4 ANWENDUNGEN . 176 3.5 ENTWICKLUNGSRICHTUNGEN . 178 LITERATUR . 183 TEIL C: ANWENDUNG VON PROZESSEN DER HALBLEITERFERTIGUNG AUF DIE MIKROTECHNIK . 187 1 PHOTOLITHOGRAPHIE . 187 1.1 EINLEITUNG . 187 1.2 GRUNDLAGEN . 188 1.3 TECHNIK . 190 1.4 ANWENDUNGEN . 221 1.5 AUSBLICK . 224 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS . 226 LITERATUR . 227 2 ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE .229 2.1 STANDORTBESTIMMUNG .229 2.2 MATERIALIEN UND AUSRUESTUNGEN . 230 2.3 DATENAUFBEREITUNG . 233 2.4 BILDGENERIERUNG . 235 2.5 MASKENPROZESSIERUNG . 237 2.6 PRUEFUNGEN, REPARATUR UND ENDBEARBEITUNG .239 2.7 ENTWICKLUNGSTENDENZEN . 242 LITERATUR . 244 3 ROENTGENLITHOGRAPHIE UND ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE . 246 3.1 EINFUEHRUNG .246 3.2 BELICHTUNGSQUELLEN . 247 3.3 MASKEN FUER DIE ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE - LIGA-MASKEN . 252 3.4 DER ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHISCHE UEBERTRAGUNGSPROZESS . 261 3.5 AVANCIERTE BELICHTUNGSTECHNIKEN . 270 LITERATUR . 276 4 AETZTECHNIKEN . 279 4.1 AETZEN ALS HOCHAUFLOESENDES FORMGEBUNGSVERFAHREN . 279 4.2 NASSCHEMISCHES AETZEN . 281 INHALTSVERZEICHNIS XI 4.3 TROCKENAETZEN . 299 4.4 SPEZIELLE AETZSTRATEGIEN . 314 LITERATUR . 320 TEIL D: HERSTELLUNG VON MIKROSTRUKTUREN AUS GLAS . 323 1 OPTISCHE KOMPONENTEN DURCH LONENAUSTAUSCH IN GLAS . 323 1.1 THEORIE, HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG VON WELLENLEITERSTRUKTUREN DURCH LONENAUSTAUSCHTECHNIKEN . 324 LITERATUR . 345 2 REALISIERUNG ABBILDENDER MIKROOPTIKEN DURCH LONENAUSTAUSCHTECHNIKEN IN GLAS . 347 2.1 EINLEITUNG . 347 2.2 BEURTEILUNGSKRITERIEN FUER MIKROLINSEN . 352 2.3 NIEDRIG GEOEFFNETE MIKROLINSEN DURCH REIN THERMISCHEN LONENAUSTAUSCH . 357 2.4 HOCHGEOEFFNETE MIKROLINSEN . 365 2.5 VOLLZYLINDRISCHE UND HALBZYLINDRISCHE STABLINSEN . 394 2.6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK . 404 LITERATUR . 404 3 PHOTOSTRUKTURIERUNG VON GLAS . 407 3.1 EINLEITUNG . 407 3.2 STRUKTURIERUNG VON GLAS . 408 3.3 VERBINDUNG MIT ANDEREN MATERIALIEN . 417 3.4 EIGENSCHAFTEN . 420 3.5 BEISPIELE . 423 3.6 ZUSAMMENFASSUNG . 428 LITERATUR . 428 TEIL E: HERSTELLUNG KOMPLEXER MIKROSTRUKTURPRODUKTE 1 LIGA UND SEINE ANWENDUNGEN . 431 1.1 EINLEITUNG . 431 1.2 DER LIGA-PROZESS . 431 1.3 ANWENDUNGEN . 440 1.4 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK . 449 LITERATUR . 449 XII INHALTSVERZEICHNIS TEIL F: MESSVERFAHREN FUER DIE MIKROTECHNIK . 453 1 ANFORDERUNGEN AN FERTIGUNGSGERECHTE MESSVERFAHREN . 453 2 MESSUNG DER OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE . 455 2.1 RAUHEITSMESSUNG . 455 2.2 STUFENHOEHENMESSUNG . 459 2.3 ABSTANDSMESSGERAET . 464 2.4 INTERFERENZMIKROSKOP . 467 3 OPTISCHE CHARAKTERISIERUNG DUENNER SCHICHTEN . 471 3.1 OPTIK DUENNER SCHICHTEN . 471 3.2 EINFACHE REFLEXIONS UND TRANSMISSIONSMESSUNGEN . 477 3.3 ELLIPSOMETRIE . 482 3.4 RAMAN-STREUUNG . 494 3.5 ROENTGEN-REFLEKTOMETRIE . 498 3.6 ROENTGENFLUORESZENZANALYSE . 502 STICHWORTVERZEICHNIS . 515
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