Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Varadan, Vijay K. (VerfasserIn), Jiang, Xiaoning (VerfasserIn), Varadan, Vasundara V. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Chichester [u.a.] Wiley 2001
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 260 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:047152185X

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