APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Campbell, S. A. (2001). The science and engineering of microelectronic fabrication (2. ed.). Oxford Univ. Press.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. 2. ed. New York [u.a.]: Oxford Univ. Press, 2001.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Campbell, Stephen A. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. 2. ed. Oxford Univ. Press, 2001.