SQUID-Magnetometrie von optisch generierten Strömen: Grundlagenuntersuchungen und Anwendungen eines neuen Verfahrens zur nichtinvasiven Analytik von Halbleitern und photovoltaischen Bauelementen
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG 1
2. SQUID-MAGNETOMETRIE UND ZERSTOERUNGSFREIE PRUEFUNG 3
2.1. SUPRALEITUNG UND JOSEPHSON-EFFEKTE 3
2.2. SQUID-MAGNETOMETER 8
2.3. ZERSTOERUNGSFREIE PRUEFUNG UND MIKROSKOPIE MIT SQUIDS 11
2.4. PHOTOMAGNETISCHE DETEKTION MIT SQUIDS 12
3. SILIZIUM: HERSTELLUNGSVERFAHREN UND WACHSTUMSBEDINGTE DEFEKTE 14
3.1. KRISTALLISATION AUS DER SCHMELZE 14
3.2. EINKRISTALLINES SILIZIUM 15
3.3. SOLAR-SILIZIUM 19
4. SQUID-PHOTOSCANNING: METHODE UND MESSSYSTEM 22
4.1. MESSPRINZIP 22
4.1.1 INTERNE ELEKTRISCHE FELDER IN HALBLEITERN 22
4.1.2 DETEKTION STRAHLINDUZIERTER STROEME 26
4.2. SQUID-PHOTOSCANNING: EXPERIMENTELLER AUFBAU 29
4.3. CHARAKTERISIERUNG DES MESSSYSTEMS 32
4.3.1 LASERBELEUCHTUNG 32
4.3.2 SQUID-SENSOREN 34
5. SQUID-PHOTOSCANNING: ANWENDUNGEN 39
5.1 DOTIERUNGSINHOMOGENITAETEN IN EINKRISTALLINEM SILIZIUM 39
5.1.1 ORIENTIERUNG DER PHOTOSTROEME UND ANORDNUNG DER MAGNETOMETER 43
5.1.2 VERTIKALSCHNITTE 47
5.1.3 WAFER ,, 54
5.1.4 PHOTOMAGNETISCHE SIGNALE BEI VERSCHIEDENEN ANREGUNGSLEISTUNGEN UND
BEI
BIASBELEUCHTUNG 59
5.1.5 DYNAMIK DER PHOTOMAGNETISCHEN SIGNALE 69
5.2 ELEKTRISCH AKTIVE KORNGRENZEN IN SOLAR-SILIZIUM 80
5.2.1 AUSGANGSMATERIAL 80
5.2.2 MULTIKRISTALLINES SILIZIUM MIT PN-UEBERGANG 90
5.3. STROMVERTEILUNGEN UND DEFEKTE IN PHOTOVOLTAISCHEN BAUELEMENTEN 96
5.3.1 AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE EINER PN-KONTAKT-SOLARZELLE 96
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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5.3.2 SQUID-PHOTOSCANNING AN SOLARZELLEN 97
6. SIMULATIONEN 103
6.1. PHYSIKALISCHES MODELL 103
6.2. DOTIERUNGSINHOMOGENITAETEN 107
6.3 KOMGRENZEN 115
7. ZUSAMMENFASSUNG UND WICHTIGSTE ERGEBNISSE
V 122
LITERATURVERZEICHNIS
ANHANG
AL MATERIALPARAMETER FUER SILIZIUM UND NATURKONSTANTEN
A2 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
DANKSAGUNG
AUFSTELLUNG VEROEFFENTLICHTER WISSENSCHAFTLICHER SCHRIFTEN
LEBENSLAUF
ERKLAERUNGEN |
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| discipline | Energietechnik, Energiewirtschaft Physik Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
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