Laserstrahljustieren mit Excimerlasern: Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Bamberg
Meisenbach
2001
|
| Schriftenreihe: | Fertigungstechnik Erlangen
110 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext Volltext Volltext Volltext Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 117 Seiten Diagramme |
| ISBN: | 3875251598 |
| DOI: | 10.25593/3-87525-159-8 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013937363 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20200527 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 010925s2001 gw |||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962678732 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3875251598 |9 3-87525-159-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76308990 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013937363 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-22 |a DE-29 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-91G |a DE-210 |a DE-1046 |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UH 5750 |0 (DE-625)145705: |2 rvk | ||
| 084 | |a PHY 374d |2 stub | ||
| 084 | |a MSR 828d |2 stub | ||
| 084 | |a MSR 069d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Müller, Burkhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Laserstrahljustieren mit Excimerlasern |b Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion |c Burkhard Müller |
| 264 | 1 | |a Bamberg |b Meisenbach |c 2001 | |
| 300 | |a 117 Seiten |b Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Fertigungstechnik Erlangen |v 110 | |
| 502 | |b Dissertation |c Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |d 2001 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Justieren |0 (DE-588)4229772-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessmodell |0 (DE-588)4237203-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CAD |0 (DE-588)4069794-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aktor |0 (DE-588)4198914-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Justieren |0 (DE-588)4229772-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Aktor |0 (DE-588)4198914-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a CAD |0 (DE-588)4069794-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Prozessmodell |0 (DE-588)4237203-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o 10.25593/3-87525-159-8 |o urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278 |
| 830 | 0 | |a Fertigungstechnik Erlangen |v 110 |w (DE-604)BV035417891 |9 110 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://open.fau.de/handle/openfau/13127 |x Verlag |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u https://doi.org/10.25593/3-87525-159-8 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u http://d-nb.info/1203879571/34 |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009538353&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 912 | |a ebook | ||
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538353 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1816444475307720704 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
15
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
FORSCHUNG
.
17
2.1
LASERSTRAHLUMFORMMECHANISMEN
.
18
2.1.1
EIGENSPANNUNGS
-
PUNKT
-
MECHANISMUS
.
18
2.1.2
TEMPERATUR
GRADIENTEN
-
MECHANISMUS
(TGM)
.
18
2.1.3
EIGENSPANNUNGS
-
RELAXATIONS
-
MECHANISMUS
.
20
2.1.4
STAUCHMECHANISMUS
.
20
2.1.5
KNICKMECHANISMUS
.
21
2.2
LASERSTRAHLJUSTIEREN
.
21
2.2.1
ANWENDUNGEN
IM
BEREICH
DER
MAKROTECHNOLOGIE
.
21
2.2.2
ANWENDUNGEN
IM
BEREICH
DER
MIKROTECHNOLOGIE
.
22
2.2.2.1
JUSTIERANWENDUNGEN
BEI
SCHALTERN
.
23
2.2.22
JUSTIERANWENDUNGEN
IM
BEREICH
DER
DATENSICHERUNG
.
23
2.2.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ANWENDUNGEN
.
24
2.3
EXCIMERLASERMATERIALBEARBEITUNG
.
24
2.4
MODELLBILDUNG
IM
KONSTRUKTIONSPROZESS
.
26
2.4.1
ANALYTISCHE
PROZESSMODELLE
.
26
2.4.2
NUMERISCHE
PROZESSMODELLE
.
28
2.4.3
KINEMATISCHE
KETTEN
.
30
3
ZIEL
DER
ARBEIT
.
31
4
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
.
33
4.1
WERKSTOFF
.
34
4.2
LASERSYSTEME
UND
STRAHLFUEHRUNG
.
36
4.3
MESSTECHNIK
.
38
4.3.1
OPTISCHES
TOPOGRAPHIEMESSGERAET
.
39
4.3.2
MESSVERFAHREN
AUF
BASIS
DER
FRESNELBEUGUNG
.
39
8
5
PROZESSGRUNDLAGEN
DES
JUSTIERENS
MIT
EXCIMERLASERN
.
43
5.1
MODELLBILDUNG
.44
5.1.1
ANALYTISCHES
MODELL
.
44
5.1.1.1
TEMPERATURFELD
.
44
5.1.1.2
UMWANDLUNG
DER
THERMISCHEN
DEHNUNG
IN
PLASTISCHE
DEHNUNG
.
46
5.1.1.3
BERECHNUNG
DES
BIEGEWINKELS
.
48
5.1.1.4
VERIFIKATION
DER
ANALYTISCHEN
LOESUNG
.
48
5.1.2
FEM
MODELL
.
49
5.2
EINFLUSSPARAMETER
AUF
DEN
PROZESS
.
53
5.2.1
LASERPARAMETER
.
54
5.2.1.1
PULSENERGIE
.
54
5.2.1.2
PULSDAUER
.
55
5.2.1.3
PULSFORM
.
56
5.2.1.4
PULSWIEDERHOLFREQUENZ
.
59
5.2.1.5
STRAHLABMESSUNGEN
.
61
5.2.2
PROBENPARAMETER
.
62
5.2.2.1
BLECHDICKE
.
62
5.2.2.2
EIGENSPANNUNGEN
.
63
5.2.3
PROZESSFENSTER
.
66
5.3
DISKUSSION
DER EINFLUSSPARAMETER
.
68
6
REGELKREIS
.
71
6.1
ANFORDERUNGEN
AN
DEN
REGELKREIS
.
72
6.2
REALISIERUNGSKONZEPT
.
73
6.3
REGELSTRATEGIE
.
73
6.4
PROZESSZEIT
.
74
6.5
DISKUSSION
DES
REGELKREISES
.
76
7
MODELLIERUNG
VON
AKTOREN
FUER
DAS
LASERSTRAHLJUSTIEREN
.
79
7.1
MODELLE
FUER
ALLE
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASEN
.
80
7.1.1
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
PLANEN
.
82
7.1.2
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
KONZIPIEREN
.
84
7.1.2.1
BESCHREIBUNG
MITTELS
KINEMATISCHER
KETTEN
.
86
7.1.3
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
ENTWERFEN
.
88
7.1.3.1
SCHNITTSTELLE
ZWISCHEN
ANALYTIK
UND
FEM
.
90
7.1.3.2
FEHLERABSCHAETZUNG
.
93
INHALTSVERZEICHNIS
9
7.1.4
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
AUSARBEITEN
.
95
7.2
BEISPIELHAFTE
ANWENDUNG
.
96
7.2.1
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
PLANEN
.
97
7.2.2
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
KONZIPIEREN
.
98
7.2.3
PRODUKTENTWICKLUNGSPHASE:
ENTWERFEN
.
101
7.3
DISKUSSION
DER
MODELLE
.
103
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
105
9
LITERATUR
.
107 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Müller, Burkhard |
| author_facet | Müller, Burkhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Müller, Burkhard |
| author_variant | b m bm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013937363 |
| classification_rvk | UH 5750 |
| classification_tum | PHY 374d MSR 828d MSR 069d |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)76308990 (DE-599)BVBBV013937363 |
| discipline | Physik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
| doi_str_mv | 10.25593/3-87525-159-8 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013937363</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20200527</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">010925s2001 gw |||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962678732</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3875251598</subfield><subfield code="9">3-87525-159-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76308990</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013937363</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-22</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UH 5750</subfield><subfield code="0">(DE-625)145705:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 374d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 828d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 069d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Müller, Burkhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Laserstrahljustieren mit Excimerlasern</subfield><subfield code="b">Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion</subfield><subfield code="c">Burkhard Müller</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Bamberg</subfield><subfield code="b">Meisenbach</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">117 Seiten</subfield><subfield code="b">Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fertigungstechnik Erlangen</subfield><subfield code="v">110</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg</subfield><subfield code="d">2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Justieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229772-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessmodell</subfield><subfield code="0">(DE-588)4237203-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CAD</subfield><subfield code="0">(DE-588)4069794-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4198914-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Justieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229772-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Aktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4198914-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">CAD</subfield><subfield code="0">(DE-588)4069794-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Prozessmodell</subfield><subfield code="0">(DE-588)4237203-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">10.25593/3-87525-159-8</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Fertigungstechnik Erlangen</subfield><subfield code="v">110</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV035417891</subfield><subfield code="9">110</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/13127</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://doi.org/10.25593/3-87525-159-8</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">http://d-nb.info/1203879571/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009538353&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538353</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013937363 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-11-22T17:27:21Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3875251598 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009538353 |
| oclc_num | 76308990 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-22 DE-BY-UBG DE-29 DE-29T DE-12 DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-1046 DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-22 DE-BY-UBG DE-29 DE-29T DE-12 DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-1046 DE-634 DE-83 |
| physical | 117 Seiten Diagramme |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Meisenbach |
| record_format | marc |
| series | Fertigungstechnik Erlangen |
| series2 | Fertigungstechnik Erlangen |
| spelling | Müller, Burkhard Verfasser aut Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion Burkhard Müller Bamberg Meisenbach 2001 117 Seiten Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fertigungstechnik Erlangen 110 Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2001 Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Justieren (DE-588)4229772-2 gnd rswk-swf Prozessmodell (DE-588)4237203-3 gnd rswk-swf CAD (DE-588)4069794-0 gnd rswk-swf Aktor (DE-588)4198914-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Justieren (DE-588)4229772-2 s Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s Aktor (DE-588)4198914-4 s CAD (DE-588)4069794-0 s Prozessmodell (DE-588)4237203-3 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/3-87525-159-8 urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278 Fertigungstechnik Erlangen 110 (DE-604)BV035417891 110 https://open.fau.de/handle/openfau/13127 Verlag kostenfrei Volltext https://doi.org/10.25593/3-87525-159-8 Resolving-System kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1203879571/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009538353&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Müller, Burkhard Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion Fertigungstechnik Erlangen Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Justieren (DE-588)4229772-2 gnd Prozessmodell (DE-588)4237203-3 gnd CAD (DE-588)4069794-0 gnd Aktor (DE-588)4198914-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4153300-8 (DE-588)4229772-2 (DE-588)4237203-3 (DE-588)4069794-0 (DE-588)4198914-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion |
| title_auth | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion |
| title_exact_search | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion |
| title_full | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion Burkhard Müller |
| title_fullStr | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion Burkhard Müller |
| title_full_unstemmed | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion Burkhard Müller |
| title_short | Laserstrahljustieren mit Excimerlasern |
| title_sort | laserstrahljustieren mit excimerlasern prozeßparameter und modelle zur aktorkonstruktion |
| title_sub | Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion |
| topic | Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Justieren (DE-588)4229772-2 gnd Prozessmodell (DE-588)4237203-3 gnd CAD (DE-588)4069794-0 gnd Aktor (DE-588)4198914-4 gnd |
| topic_facet | Excimerlaser Justieren Prozessmodell CAD Aktor Hochschulschrift |
| url | https://open.fau.de/handle/openfau/13127 https://doi.org/10.25593/3-87525-159-8 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-131278 http://d-nb.info/1203879571/34 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009538353&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV035417891 |
| work_keys_str_mv | AT mullerburkhard laserstrahljustierenmitexcimerlasernprozeßparameterundmodellezuraktorkonstruktion |