Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 124 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013934512 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030115 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 011001s2001 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962910597 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)50454235 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013934512 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-188 | ||
| 084 | |a WER 105d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Cho, Sang-Jin |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen |c vorgelegt von Sang-Jin Cho |
| 264 | 1 | |c 2001 | |
| 300 | |a 124 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Berlin, Techn. Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 7 | |a Hochschulschrift |2 gtt | |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Cobaltlegierung |0 (DE-588)4148141-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumlegierung |0 (DE-588)4181392-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Eisenlegierung |0 (DE-588)4014081-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumlegierung |0 (DE-588)4181392-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Eisenlegierung |0 (DE-588)4014081-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Cobaltlegierung |0 (DE-588)4148141-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Eisenlegierung |0 (DE-588)4014081-7 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Cobaltlegierung |0 (DE-588)4148141-0 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009535871&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009535871 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812460691047579648 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG . ^
2. THEORETISCHE GRUNDLAGEN . 2
2.1 NEUTRONENOPTIK . 2
2.1.1 NEUTRONEN-REFLEXION. 2
2.1.2 REFLEKTIVITAET. ^
2.1.3 REFLEKTIVITAET EINES VIELSCHICHTSYSTEMS (MATRIXFORMALISMUS) . 10
2.1.4 BRAGGREFLEXION . JG
2.1.5 EINFLUSS DER RAUHIGKEIT.
13
2.1.6 SUPERSPIEGEL. JG
2.2 ELLIPSOMETRIE. JG
2.2.1 MAKROSKOPISCHE OPTISCHE KONSTANTEN. 19
2.2.2 POLARISATION UND GRUNDGLEICHUNG DER ELLIPSOMETER.21
2.2.3 FUNKTIONSWEISE EINES ELLIPSOMETERS.24
3. EXPERIMENTELLE METHODEN. 25
3.1 ELLIPSOMETER.25
3.2 NEUTRONENREFLEKTOMETER.27
3.3 ROENTGENREFLEKTOMETER.29
3.4 SPUTTERN.
3.5 SQUID MAGNETOMETRIE.32
3.6 AFM (RASTERKRAFTMIKROSKOPIE). 34
3.7 TEM (TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE). 36
3.8 XRD (ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE). 37
4. ERGEBNISSE UND DISKUSSION. 40
4.1 GLAS.40
4.2 EINZELSCHICHTEN AUS SI. 45
4.3 EINZELSCHICHT AUS FE
89COU UND BILAYER AUS SI UND FE89CON. 50
4.4 TRILAYER. 55
4.5 MONOCHROMATOREN. 59
4.5.1 ZWISCHENSCHICHTEN. 60
4.5.2 KRISTALLISATION VON FE
89CON. 64
4.6 SUPERSPIEGEL. 72
4.7 ZWISCHENSCHICHTDICKE BEI PARAMETERVARIATION. 74
4.7.1 TARGETSPANNUNG. 74
4.7.2 ARGONDRUCK.76
4.7.3 BIAS-SPANNUNG.77
4.8 CR-DOTIERUNG. 81
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/962910597
4.9 KRISTALLISATION. 92
4.9.1 KRISTALLISATION DES FEGJCON IN ABHAENGIGKEIT VON DER SCHICHTDICKE.
92
4.9.2 KRISTALLISATION DES FE
89COH MIT VERSCHIEDENEN WERTEN FUER DAS DC-BIAS. 93
4.9.3 MAGNETISCHE EIGENSCHAFTEN BEI VERSCHIEDENEN DC-BIASSPANNUNGEN. 99
4.9.4 NEUTRONENREFLEKTOMETRIE AN DEN MONOCHROMATOREN BEI VERSCHIEDENEN
MAGNETFELDERN. 103
4.10 SUPERSPIEGEL AUS EINZELNEN MONOCHROMATOREN. 105
5. ZUSAMMENFASSUNG. 111
6
. ANHANG. 114
7. LITERATURVERZEICHNIS. 120 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Cho, Sang-Jin |
| author_facet | Cho, Sang-Jin |
| author_role | aut |
| author_sort | Cho, Sang-Jin |
| author_variant | s j c sjc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013934512 |
| classification_tum | WER 105d |
| ctrlnum | (OCoLC)50454235 (DE-599)BVBBV013934512 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013934512</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030115</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">011001s2001 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962910597</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)50454235</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013934512</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 105d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Cho, Sang-Jin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Sang-Jin Cho</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">124 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Berlin, Techn. Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gtt</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cobaltlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148141-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181392-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Eisenlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014081-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181392-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Eisenlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014081-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Cobaltlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148141-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Eisenlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014081-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Cobaltlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148141-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009535871&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009535871</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013934512 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T18:06:49Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009535871 |
| oclc_num | 50454235 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-83 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-83 DE-188 |
| physical | 124 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| record_format | marc |
| spelling | Cho, Sang-Jin Verfasser aut Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen vorgelegt von Sang-Jin Cho 2001 124 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berlin, Techn. Univ., Diss., 2001 Hochschulschrift gtt Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Cobaltlegierung (DE-588)4148141-0 gnd rswk-swf Siliciumlegierung (DE-588)4181392-3 gnd rswk-swf Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumlegierung (DE-588)4181392-3 s Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 s Cobaltlegierung (DE-588)4148141-0 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s DE-604 Silicium (DE-588)4077445-4 s Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009535871&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Cho, Sang-Jin Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen Hochschulschrift gtt Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Cobaltlegierung (DE-588)4148141-0 gnd Siliciumlegierung (DE-588)4181392-3 gnd Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4148141-0 (DE-588)4181392-3 (DE-588)4014081-7 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4273432-0 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen |
| title_auth | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen |
| title_exact_search | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen |
| title_full | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen vorgelegt von Sang-Jin Cho |
| title_fullStr | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen vorgelegt von Sang-Jin Cho |
| title_full_unstemmed | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen vorgelegt von Sang-Jin Cho |
| title_short | Ellipsometrische Untersuchungen zu Eigenschaften und Wachstum von FeCo-Si-Vielschichtsystemen |
| title_sort | ellipsometrische untersuchungen zu eigenschaften und wachstum von feco si vielschichtsystemen |
| topic | Hochschulschrift gtt Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Cobaltlegierung (DE-588)4148141-0 gnd Siliciumlegierung (DE-588)4181392-3 gnd Eisenlegierung (DE-588)4014081-7 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| topic_facet | Hochschulschrift Silicium Cobaltlegierung Siliciumlegierung Eisenlegierung Ellipsometrie Schichtwachstum Mehrschichtsystem |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009535871&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT chosangjin ellipsometrischeuntersuchungenzueigenschaftenundwachstumvonfecosivielschichtsystemen |