Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2001,1 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | 179, XVIII S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826593634 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013915721 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030213 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010911s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962317781 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826593634 |9 3-8265-9363-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76293656 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013915721 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-703 | ||
| 084 | |a UP 3100 |0 (DE-625)146372: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Quast, Fabian |d 1969- |e Verfasser |0 (DE-588)123286158 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion |c Fabian Quast |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2001 | |
| 300 | |a 179, XVIII S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2001,1 | |
| 500 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumhalbleiter |0 (DE-588)4274465-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterleerstelle |0 (DE-588)4287200-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Platin |0 (DE-588)4174856-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumhalbleiter |0 (DE-588)4274465-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Gitterleerstelle |0 (DE-588)4287200-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Platin |0 (DE-588)4174856-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2001,1 |w (DE-604)BV010300264 |9 2001,1 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521443 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804128758979887104 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Quast, Fabian 1969- |
| author_GND | (DE-588)123286158 |
| author_facet | Quast, Fabian 1969- |
| author_role | aut |
| author_sort | Quast, Fabian 1969- |
| author_variant | f q fq |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013915721 |
| classification_rvk | UP 3100 |
| ctrlnum | (OCoLC)76293656 (DE-599)BVBBV013915721 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01643nam a22004458cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013915721</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030213 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010911s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962317781</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826593634</subfield><subfield code="9">3-8265-9363-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76293656</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013915721</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Quast, Fabian</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123286158</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion</subfield><subfield code="c">Fabian Quast</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">179, XVIII S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2001,1</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumhalbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274465-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterleerstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4287200-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Platin</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174856-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumhalbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274465-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Gitterleerstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4287200-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Platin</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174856-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2001,1</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010300264</subfield><subfield code="9">2001,1</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521443</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013915721 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:54:20Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826593634 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521443 |
| oclc_num | 76293656 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-703 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-703 |
| physical | 179, XVIII S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| series2 | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| spelling | Quast, Fabian 1969- Verfasser (DE-588)123286158 aut Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion Fabian Quast Aachen Shaker 2001 179, XVIII S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlanger Berichte Mikroelektronik 2001,1 Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001 Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 gnd rswk-swf Gitterleerstelle (DE-588)4287200-5 gnd rswk-swf Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd rswk-swf Platin (DE-588)4174856-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 s Gitterleerstelle (DE-588)4287200-5 s Platin (DE-588)4174856-6 s Diffusion (DE-588)4012277-3 s DE-604 Erlanger Berichte Mikroelektronik 2001,1 (DE-604)BV010300264 2001,1 |
| spellingShingle | Quast, Fabian 1969- Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion Erlanger Berichte Mikroelektronik Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 gnd Gitterleerstelle (DE-588)4287200-5 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Platin (DE-588)4174856-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4274465-9 (DE-588)4287200-5 (DE-588)4012277-3 (DE-588)4174856-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion |
| title_auth | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion |
| title_exact_search | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion |
| title_full | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion Fabian Quast |
| title_fullStr | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion Fabian Quast |
| title_full_unstemmed | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion Fabian Quast |
| title_short | Untersuchung von Punktdefekten in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion |
| title_sort | untersuchung von punktdefekten in silicium mit hilfe der platindiffusion |
| topic | Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 gnd Gitterleerstelle (DE-588)4287200-5 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Platin (DE-588)4174856-6 gnd |
| topic_facet | Siliciumhalbleiter Gitterleerstelle Diffusion Platin Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV010300264 |
| work_keys_str_mv | AT quastfabian untersuchungvonpunktdefekteninsiliciummithilfederplatindiffusion |