Selektive und konforme Abscheidung von (Al)GaAs mittels alternativer chlorhaltiger Metallorganika:
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Aachen
Shaker
2001
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INHALTSVERZEICHNIS
LISTE
DER
VERWENDETEN
ABKUERZUNGEN
III
1
EINLEITUNG
1
2
PROBLEME
BEI
DER
ABSCHEIDUNG
VON
III-V-HALBLEITERN
AUF
SILIZIUM
5
2.1
ANTIPHASENDOMAENEN
5
2.2
UNTERSCHIEDLICHE
GITTERKONSTANTEN
UND
WAERMEAUSDEHNUNGKOEFFIZIENTEN
6
2.2.1
ELO-VERFAHREN
6
2.2.2
KONFORMES
WACHSTUM
8
3
ABSCHEIDE
VERFAHR
EN
11
3.1
GASPHASENEPITAXIE
11
3.2
METALLORGANISCHE
GASPHASENEPITAXIE
13
4
EXPERIMENTELLES
15
4.1
AUFBAU
DER
MOVPE-ANLAGE
15
4.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
18
4.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
ABGESCHIEDENEN
SCHICHTEN
18
5
AUSWAHL
DER
QUELLENMATERIALIEN
25
5.1
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
QUELLENMATERIALIEN
26
5.2
DIE
METALLORGANISCHEN
QUELLEN
27
5.2.1
ANGABEN
ZU
CHLORHALTIGEN
MO-QUELLEN
28
5.2.2
ZERLEGUNGSMECHANISMUS
DER
CHLORHALTIGEN
MO-QUELLEN
29
5.3
ARSIN
31
5.4
DOTIERSTOFFQUELLEN
32
II
INHALTSVERZEICHNIS
6
WACHSTUMSKINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
35
6.1
VORUEBERLEGUNGEN
ZUR
AUSWAHL
DER
WACHSTUMSPARAMETER
35
6.2
SELEKTIVES
WACHSTUM
37
6.2.1
GAAS
37
6.2.2
ALGAAS
46
6.2.3
DISKUSSION
50
6.3
KONFORMES
WACHSTUM
51
6.3.1
DAS
SUBSTRAT
52
6.3.2
DER
GAAS-KEIM
55
6.3.3
GAAS
57
6.3.3.1
ABSCHEIDUNG
AN
MBE-KEIMEN
58
6.3.3.2
ABSCHEIDUNG
AN
MOVPE-KEIMEN
63
6.3.3.3
ABSCHEIDUNG
AN
KONFORMEN
HVPE-SCHICHTEN
67
6.3.4
ALGAAS
69
6.3.5
HETEROSTRUKTUREN
74
6.3.6
DISKUSSION
75
6.4
DOTIERUNG
TI
6.4.1
P-DOTIERUNG
78
6.4.2
N-DOTIERUNG
81
6.4.3
KONFORMER
PN-UEBERGANG
83
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
87
ANHANG
93
LITERATURVERZEICHNIS
95 |
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