Selektive und konforme Abscheidung von (Al)GaAs mittels alternativer chlorhaltiger Metallorganika:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | IV, 107 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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