Quirk, M., & Serda, J. (2001). Semiconductor manufacturing technology. Prentice Hall.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Quirk, Michael, und Julian Serda. Semiconductor Manufacturing Technology. Upper Saddle River, NJ [u.a.]: Prentice Hall, 2001.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Quirk, Michael, und Julian Serda. Semiconductor Manufacturing Technology. Prentice Hall, 2001.
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