Semiconductor manufacturing technology:
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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Quirk, Michael (VerfasserIn), Serda, Julian (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Upper Saddle River, NJ [u.a.] Prentice Hall 2001
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 666 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0130815209

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