(1999). Electronics and structures for MEMS: 27 - 29 October 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Electronics and Structures for MEMS: 27 - 29 October 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia. Bellingham, Wash: SPIE, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Electronics and Structures for MEMS: 27 - 29 October 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia. SPIE, 1999.
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