Mikrosystemtechnische Sensoren in relativ bewegten Systemen für die industrielle Anwendung:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Logos-Verl.
2001
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VIII, 172 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
I.
EINLEITUNG
.
1
1.1.
INDUSTRIELLE
ABSTANDSMESSUNG
UND
OBJEKTERKENNUNG
.
1
1.2.
ELEKTROAKUSTISCHE
WANDLER
FUER
DEN
LUFTULTRASCHALLBETRIEB
.
2
II.
MESSUNG
VON
ABSTANDSAENDERUNGEN
MIT
MIKROMETERAUFLOESUNG
.
5
N.L.
MOTIVATION
.
5
N.
1.1.
ABSTANDSMESSAUFGABEN
INDERHANDHABUNGSTECHNIK
.
6
N.L.
2.
ZIELSETZUNG
FUER
DIE
ANWENDUNG
DER
ABSTANDSMESSSYSTEME
.
10
H.
1.3.
ALLGEMEINES
ANFORDERUNGSPROFIL
FUER
DIE
ABSTANDSMESSSYSTEME
.
11
N.2.
BERUEHRUNGSLOSE
ABSTANDSMESSSYSTEME
IM
VERGLEICH
.
13
N.2.1.
STAND
DER
TECHNIK:
BERUEHRUNGSLOSE
ABSTANDSMESSVERFAHREN
IN
DER
ROBOTIK
.
13
N.2.2.
AUSWAHL
VON
MESSVERFAHREN
.
16
UE.3.
MESSSYSTEME
IM
EXPERIMENTELLEN
VERGLEICH
.
20
N.3.1.
DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG
DER
AUSGEWAEHLTEN
MESSVERFAHREN
.
20
N.3.2.
VERSUCHSAUFBAU
.
29
11.3.3.
WIRBELSTROMMESSSYTEM
.31
FL.3.4.
MIKROWELLENMESSSYSTEM
.
33
H.3.5.
AKUSTISCHES
ABSTANDSMESSSYSTEM
.
36
H.3.6.
VERGLEICH
DER
EXPERIMENTELLEN
ERGEBNISSE
.
37
H.4.
BEWERTUNG
DER
MESSSYSTEME
.
38
III.
ENTWICKLUNG
MIKROMECHANISCHER
ULTRASCHALLWANDLER
.
41
IN.L.
GRUNDLAGEN
DES
ULTRASCHALLS
.
42
HI.
1.1.
BEGRIFFSDEFINITIONEN
.
42
ID.
1.2.
UEBERTRAGUNG
VON
SCHALL
.
43
M.1.3.
REFLEXION
UND
TRANSMISSION
AN
MEDIENGRENZEN
.
49
M.1.4.
FORMULIERUNG
DER
SCHALLENERGIEGROESSEN
.
49
FFL.1.5.
AUSBREITUNG
VON
SCHALLWELLEN
IM
NAHFELD
.
50
M.1.6.
AUSBREITUNG
VON
SCHALLWELLEN
IM
FEMFELD
(RICHTCHARAKTERISTIK)
.
53
M.1.7.
DAEMPFUNG
.
55
M.2.
STAND
DER
TECHNIK:
AUFBAU
UND
FUNKTIONSWEISE
VON
ULTRASCHALLWANDLERN
.
56
FFL.2.1.
VOLUMENSCHWINGER
.
56
NI.2.2.
BIEGESCHWINGER
.
62
M.2.3.
MEMBRANSCHWINGER
.
63
M.2.4.
BEWERTUNG
DER
WANDLERVARIANTEN
.
70
INHALTSVERZEICHNIS
III.3.
HOCHFREQUENTE
ULTRASCHALLWANDLER
AUF
BASIS
KAPAZITIVER
MEMBRANSTRUKTUREN
.
72
III.3.1.
ENTWICKLUNGSANSATZ
EINES
KAPAZITIVEN,
MIKROMECHANISCHEN
ULTRASCHALLWANDLERS
.
73
111.3.2.
ENTWURFSKRITERIEN
.
77
IH.3.3.
HERSTELLUNGSABLAUF
.
80
III.3.4.
FEM-SIMULATION
EINES
MEMBRANSCHWINGERS
.
96
III.
3.5.
CHARAKTERISIERUNG
DER
ULTRASCHALLWANDLER
ALS
KOLBENSTRAHLER
.
105
III.3.6.
EIGNUNG
ZUR
PHASENVERZOEGERTEN
ANSTEUERUNG
DER
ULTRASCHALLWANDLER
.114
III.3.7.
BEWERTUNG
DER
KAPAZITIVEN
ULTRASCHALLWANDLER
.
116
III.3.8.
AUSBLICK
AUF
SYSTEMVARIANTEN
.
117
M.4.
AUSWERTETECHNIKEN
FUER
ULTRASCHALLANWENDUNGEN
.
118
III.4.1.
AUSWERTEVERFAHREN
MITTELS
LAUFZEITMESSUNG
.
118
HI.4.2.
AUSWERTEVERFAHREN
IM
RESONANZBETRIEB
.
119
III.4.3.
AUSWERTEVERFAHREN
MITTELS
PHASENVERGLEICH
.
121
FFL.5.
EIGNUNG
DER
ULTRASCHALLWANDLER
ZUR
ABSTANDSMESSUNG
.
123
III.5.1.
ANSTEUER
UND
AUSWERTESCHALTUNG
.
123
NI.5.2.
DIREKTANORDNUNG
.
125
III.5.3.
WINKELANORDNUNG
.
126
M.6.
ZUSAMMENFASSUNG
.
128
IV.
SCHLUSSBETRACHTUNG
UND
AUSBLICK
.
131
V.
LITERATURVERZEICHNIS
.
137
VI.
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
145
ANHANG
A
ELEKTROMECHANISCHES
ERSATZSCHALTBILD
EINES
MEMBRANSCHWINGERS
.
147
B.1
UEBERSICHT
ZUM HERSTELLUNGSABLAUF
DER
ULTRASCHALLWANDLER
-
VARIANTE
A:
GROSSER
ELEKTRODENABSTAND
164
B.2
UEBERSICHT
ZUM HERSTELLUNGSABLAUF
DER
ULTRASCHALLWANDLER
-
VARIANTE
B:
KLEINER
ELEKTRODENABSTAND
166
CI
BETREUTE
STUDENTISCHE
ARBEITEN
.
168
C2
PUBLIKATIONEN
.
169
C3
PATENTANMELDUNGEN
.
170 |
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