Micromechanics: based on contributions revised from the Technical digest of the Thirteenth IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS-2000), Miyazaki, Japan, 23 - 27 January 2000
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier 2001
Schriftenreihe:Sensors and actuators / A 89
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:266 S. Ill., graph. Darst.

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