Nano- and microelectromechanical systems: fundamentals of nano- and microengineering
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lyshevski, Sergey Edward (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton [u.a.] CRC Press 2001
Schriftenreihe:Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series
Schlagworte:
Beschreibung:338 S. graph. Darst.
ISBN:0849309166

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