Ionenstrahlgestütztes epitaktisches Wachstum hexagonaler Galliumnitrid-Schichten auf c-Saphir:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Mensch-und-Buch-Verl.
2001
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INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL
1
EINFUEHRUNG
.
1
1.1
EIGENSCHAFTEN
VON
GALLIUMNITRID
.
3
1.2
HERSTELLUNGSVERFAHREN
.
5
1.3
LONENSTRAHLGESTUETZTE
ABSCHEIDUNG
VON
GALLIUMNITRID
.
7
KAPITEL
2
EXPERIMENTELLE
METHODEN
.
11
2.1
ANLAGE
ZUR
IONENSTRAHLGESTUETZTEN
ABSCHEIDUNG
.
11
2.2
PROBENHERSTELLUNG
.
13
2.2.1
ABSCHEIDEPARAMETER
UND
STRAHLPARAMETER
.
13
2.2.2
SUBSTRATE
.
16
2.3
ANALYSEMETHODEN
.
17
2.3.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
.
17
2.3.2
MORPHOLOGIE
UND
TOPOGRAPHIE
.
19
2.3.3
KRISTALLOGRAPHISCHE
STRUKTUR
UND
TEXTUR
.
20
2.4 VERFAHRENSWEISEN
BEI
DER
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
26
2.4.1
MOSAIZITAET
.
26
2.4.2
MITTLERE
VARIATION
DER
GITTERDEHNUNG
UND
KOHAERENZLAENGE
.
27
2.4.3
GITTERKONSTANTENBESTIMMUNG
.
28
2.4.4
PHASENSEPARATION
MITTELS
TEXTURMESSUNGEN
.
28
2.4.5
LONENGITTERFUHRUNG
ENTLANG
VERSCHIEDENER
GITTERRICHTUNGEN
.
30
KAPITEL
3
EPITAXIEBEZIEHUNGEN
.
33
3.1
EPITAXIE
VON
HEXAGONALEM
GALLIUMNITRID
AUF
C-SAPHIR
.
33
3.2
EPITAXIE
VON
HEXAGONALEM
GALLIUMNITRID
AUF
R-SAPHIR
.
36
3.3
MODELLE
ZUR
ERKLAERUNG
DER
EPITAXIEBEZIEHUNGEN
.
37
KAPITEL
4
LONENGESTUETZTE
SCHICHTABSCHEIDUNG
MIT
HOEHEREN
LONENENERGIEN
.
45
4.1
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNG
.
46
4.2
VARIATION
DES
LON/ATOM-VERHAELTNISSES
.
48
4.2.1
ROENTGENOGRAPHISCHE
ANALYSE
VON
STRUKTUR,
MOSAIZITAET
UND
TEXTUR
.
49
4.2.2
RBS-LONENGITTERFIIHRUNG
.
52
4.2.3
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE
UND
MORPHOLOGIE
.
54
4.3
VARIATION
DER
LONENENERGIE
.
55
4.3.1
ROENTGENOGRAPHISCHE
ANALYSE
VON
STRUKTUR,
MOSAIZITAET
UND
TEXTUR
.
55
4.3.2
RBS-LONENGITTERFIIHRUNG
.
58
4.3.3
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE
UND
MORPHOLOGIE
.
58
4.4
DIE
KUBISCHE
ZINKBLENDEPHASE
.
60
4.5
DISKUSSION
.
65
KAPITEL
5
LONENGESTUETZTE
SCHICHTABSCHEIDUNG
MIT
NIEDRIGEREN
LONENENERGIEN
.
75
5.1
VARIATION
DES
I/A-VERHAELTNISSES
.
75
5.2
SCHICHTDEPOSITION
MIT
ANWENDUNG
EINER
I/A-VERHAELTNISRAMPE
.
76
5.2.1
PRINZIP
.
77
5.2.2
ROENTGENOGRAPHISCHE
ANALYSE
DER
STRUKTUR
UND
MOSAIZITAET
.
78
5.2.3
RBS-LONENGITTERFIIHRUNG
.
79
5.2.4
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE
UND
MORPHOLOGIE
.
80
5.2.5
KUBISCHE
PHASE
.
82
5.2.6
OPTIMIERUNG
DER
RAMPENPARAMETER
.
84
5.2.7
GITTERPARAMETER
.
85
5.3
DISKUSSION
.
86
KAPITEL
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
93
ANHANG
.
97
LITERATURVERZEICHNIS
101 |
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