Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid: Visualisierung und Modellbildung
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2001 |
| Physical Description: | 104 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826590759 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013832631 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20020516 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010717s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 961895632 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826590759 |9 3-8265-9075-9 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76237660 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013832631 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-703 | ||
| 084 | |a UQ 2160 |0 (DE-625)146487: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Wellmann, Peter |d 1966- |e Verfasser |0 (DE-588)123020069 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid |b Visualisierung und Modellbildung |c Peter J. Wellmann |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2001 | |
| 300 | |a 104 S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Halbleitertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2001 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a In situ |0 (DE-588)4293230-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sublimation |0 (DE-588)4183913-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenographie |0 (DE-588)4178316-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sublimation |0 (DE-588)4183913-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a PVD-Verfahren |0 (DE-588)4115673-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Röntgenographie |0 (DE-588)4178316-5 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a In situ |0 (DE-588)4293230-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009460969&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009460969 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1808046126566211584 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
7
1.1
SIC
-
EIN
HALBLEITER
GROSSER
B
ANDLUECKE
.
7
1.2
BESONDERHEITEN
VON
SIC
.
9
1.3
FRAGESTELLUNGEN
BEI
DER
SIC
KRISTALLZUECHTUNG
.
10
1.4
AUFBAU
DER
ARBEIT
.
10
2
SUBLIMATIONS-KRISTALLZUECHTUNG
VON
SIC
.
13
2.1
DAS
PVT
VERFAHREN
.
13
2.2
PROBLEM
DER
PROZESSKONTROLLE
.
15
2.3
ANSAETZE
ZUR
PROZESSVISUALISIERUNG
UND
MODELLBILDUNG
.
16
3
MODELLBILDUNG
-
THEORETISCHER
ZUGANG
ZUM
SIC
ZUECHTUNGSPROZESS
.
18
3.1
2-DIM
GLOBALE
NUMERISCHE
MODELLIERUNG
DES
SIC
PVT
PROZESSES
.
18
DAS
TEMPERATURFELD
.
19
DER
STOFFTRANSPORT
.
21
WAERME
UND
STOFFTRANSPORT
IN
POROESEN
SIC
MEDIEN
.
23
THERMISCH
INDUZIERTE
VERSPANNUNGEN
UND
DEFEKTBILDUNG
.
23
3.2
1-DIM
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
DES
STOFFTRANSPORTES
.
25
4
ROENTGEN-INSITU-BEOBACHTUNG
-
EXPERIMENTELLER
ZUGANG
ZUM
SIC
ZUECHTUNGSPROZESS
.
27
4.1
FUNKTIONSWEISE
DER
ROENTGEN-INSITU-BEOBACHTUNG
.
27
PRINZIPIELLER
AUFBAU
.
27
PROBLEM
DER
INDUKTIONSSPULE
.
29
HARDWARE
BILDVERARBEITUNG
.
29
4.2
VISUALISIERUNGS
UND
ANALYSEMOEGLICHKEITEN
.
32
EVOLUTION
DES
SIC
KRISTALLS
-
PHASENGRENZE
.
32
EVOLUTION
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
-
MORPHOLOGIE
.
33
BESTIMMUNG
DER
MITTLEREN
PULVERDICHTE
.
34
BESTIMMUNG
DES
KOMDURCHMESSERS
.
36
4.3
KONTROLLE
UND
REGELUNG
DES
SIC
ZUECHTUNGSPROZESSES
.
38
5
ANALYSE
DES
SIC
KRISTALLZUECHTUNGSPROZESSES
-
VISUALISIERUNG
UND
MODELLBILDUNG
.40
5.1
DER
SIC
KRISTALL
.40
WACHSTUMSGESCHWINDIGKEIT
.
42
DEFEKTGENERATION
.
45
5.2
DAS
SIC
QUELLENMATERIAL
-
MORPHOLOGISCHE
VERAENDERUNGEN
IN
DER
SIC
PULVERQUELLE
.
53
DISKSTRUKTUR
DES
SIC
QUELLEMATERIALS
.
53
KEMBEREICH
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
.
55
VERBRAUCHSBEREICH
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
.
58
STOFFTRANSPORT
IM
SIC
QUELLENMATERIAL
.
58
5.3
V
ARIATION
DER
PULVERKOMGROESSE
.
59
SIC
QUELLE
AUS
FEINEM
SIC
PULVER
.
60
SIC
QUELLE
AUS
MAKROSKOPISCHEN
SIC
STUECKEN
.
61
NADELFOERMIGE
MORPHOLOGIE
DER
SIC
QUELLENOBERFLAECHE
.
63
VERGLEICH
UNTERSCHIEDLICHER
SIC
QUELLEN
IM
HINBLICK
AUF
NUMERISCHE
MODELLIERUNG
.
64
5.4
EINFLUSS
DER
PULVERMORPHOLOGIE
AUF
DEN
KRISTALLWACHSTUMSPROZESS
.
65
NUMERISCHES
3
BLOCKMODELL
.
65
TEMPERATURFELD
.
67
STOFFTRANSPORT
.
71
RESUEMEE
FUER
DEN
KRISTALLWACHSTUMSPROZESS
.
73
6
INNOVATIVE
ANSAETZE
ZUR
PVT
ZUECHTUNG
VON
SIC
.
76
6.1
MODIFIZIERTER
PVT
AUFBAU
-
ZUSAETZLICHE
GASZUFUHR
.
76
AENDERUNG
DER
STROEMUNGSVERHAELTNISSE
.
77
DOTIERUNG
.
80
VARIATION
DER
GASPHASENKOMPOSITION
-
EIN
AUSBLICK
.
81
6.2
PVT
VERFAHREN
MIT
INSITU
SIC
PULVERSYNTHESE
.
82
INSITU-SYNTHESEPROZESS
.
82
ZUECHTUNGSPROZESS
.
83
6.3
PVT
VERFAHREN
MIT
PERMEABLER
GRAPHIT-MEMBRAN
.
85
INSITU-SYNTHESEPROZESS
.
85
ROLLE
DER
PERMEABLEN
GRAPHITMEMBRAN
.
85
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
89
8
LITERATURVERZEICHNIS
.
91
9
WISSENSCHAFTLICHER
WERDEGANG
.
100
10
VERZEICHNIS
DER
PUBLIKATIONEN
.
101
11
DANKSAGUNG
.
104
6 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Wellmann, Peter 1966- |
| author_GND | (DE-588)123020069 |
| author_facet | Wellmann, Peter 1966- |
| author_role | aut |
| author_sort | Wellmann, Peter 1966- |
| author_variant | p w pw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013832631 |
| classification_rvk | UQ 2160 |
| ctrlnum | (OCoLC)76237660 (DE-599)BVBBV013832631 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013832631</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20020516</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010717s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">961895632</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826590759</subfield><subfield code="9">3-8265-9075-9</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76237660</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013832631</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2160</subfield><subfield code="0">(DE-625)146487:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wellmann, Peter</subfield><subfield code="d">1966-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123020069</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid</subfield><subfield code="b">Visualisierung und Modellbildung</subfield><subfield code="c">Peter J. Wellmann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">104 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Halbleitertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2001</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">In situ</subfield><subfield code="0">(DE-588)4293230-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sublimation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183913-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178316-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sublimation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183913-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">PVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115673-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Röntgenographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178316-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">In situ</subfield><subfield code="0">(DE-588)4293230-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009460969&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009460969</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013832631 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-22T00:39:12Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826590759 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009460969 |
| oclc_num | 76237660 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-703 |
| owner_facet | DE-29 DE-703 |
| physical | 104 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| spelling | Wellmann, Peter 1966- Verfasser (DE-588)123020069 aut Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung Peter J. Wellmann Aachen Shaker 2001 104 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Halbleitertechnik Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2001 In situ (DE-588)4293230-0 gnd rswk-swf Sublimation (DE-588)4183913-4 gnd rswk-swf Röntgenographie (DE-588)4178316-5 gnd rswk-swf PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd rswk-swf Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd rswk-swf Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 s Sublimation (DE-588)4183913-4 s PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 s Röntgenographie (DE-588)4178316-5 s In situ (DE-588)4293230-0 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009460969&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Wellmann, Peter 1966- Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung In situ (DE-588)4293230-0 gnd Sublimation (DE-588)4183913-4 gnd Röntgenographie (DE-588)4178316-5 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4293230-0 (DE-588)4183913-4 (DE-588)4178316-5 (DE-588)4115673-0 (DE-588)4140616-3 (DE-588)4055009-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung |
| title_auth | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung |
| title_exact_search | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung |
| title_full | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung Peter J. Wellmann |
| title_fullStr | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung Peter J. Wellmann |
| title_full_unstemmed | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid Visualisierung und Modellbildung Peter J. Wellmann |
| title_short | Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid |
| title_sort | sublimations kristallzuchtung von siliziumkarbid visualisierung und modellbildung |
| title_sub | Visualisierung und Modellbildung |
| topic | In situ (DE-588)4293230-0 gnd Sublimation (DE-588)4183913-4 gnd Röntgenographie (DE-588)4178316-5 gnd PVD-Verfahren (DE-588)4115673-0 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| topic_facet | In situ Sublimation Röntgenographie PVD-Verfahren Kristallzüchtung Siliciumcarbid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009460969&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT wellmannpeter sublimationskristallzuchtungvonsiliziumkarbidvisualisierungundmodellbildung |