Sublimations-Kristallzüchtung von Siliziumkarbid: Visualisierung und Modellbildung
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2001 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
7
1.1
SIC
-
EIN
HALBLEITER
GROSSER
B
ANDLUECKE
.
7
1.2
BESONDERHEITEN
VON
SIC
.
9
1.3
FRAGESTELLUNGEN
BEI
DER
SIC
KRISTALLZUECHTUNG
.
10
1.4
AUFBAU
DER
ARBEIT
.
10
2
SUBLIMATIONS-KRISTALLZUECHTUNG
VON
SIC
.
13
2.1
DAS
PVT
VERFAHREN
.
13
2.2
PROBLEM
DER
PROZESSKONTROLLE
.
15
2.3
ANSAETZE
ZUR
PROZESSVISUALISIERUNG
UND
MODELLBILDUNG
.
16
3
MODELLBILDUNG
-
THEORETISCHER
ZUGANG
ZUM
SIC
ZUECHTUNGSPROZESS
.
18
3.1
2-DIM
GLOBALE
NUMERISCHE
MODELLIERUNG
DES
SIC
PVT
PROZESSES
.
18
DAS
TEMPERATURFELD
.
19
DER
STOFFTRANSPORT
.
21
WAERME
UND
STOFFTRANSPORT
IN
POROESEN
SIC
MEDIEN
.
23
THERMISCH
INDUZIERTE
VERSPANNUNGEN
UND
DEFEKTBILDUNG
.
23
3.2
1-DIM
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
DES
STOFFTRANSPORTES
.
25
4
ROENTGEN-INSITU-BEOBACHTUNG
-
EXPERIMENTELLER
ZUGANG
ZUM
SIC
ZUECHTUNGSPROZESS
.
27
4.1
FUNKTIONSWEISE
DER
ROENTGEN-INSITU-BEOBACHTUNG
.
27
PRINZIPIELLER
AUFBAU
.
27
PROBLEM
DER
INDUKTIONSSPULE
.
29
HARDWARE
BILDVERARBEITUNG
.
29
4.2
VISUALISIERUNGS
UND
ANALYSEMOEGLICHKEITEN
.
32
EVOLUTION
DES
SIC
KRISTALLS
-
PHASENGRENZE
.
32
EVOLUTION
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
-
MORPHOLOGIE
.
33
BESTIMMUNG
DER
MITTLEREN
PULVERDICHTE
.
34
BESTIMMUNG
DES
KOMDURCHMESSERS
.
36
4.3
KONTROLLE
UND
REGELUNG
DES
SIC
ZUECHTUNGSPROZESSES
.
38
5
ANALYSE
DES
SIC
KRISTALLZUECHTUNGSPROZESSES
-
VISUALISIERUNG
UND
MODELLBILDUNG
.40
5.1
DER
SIC
KRISTALL
.40
WACHSTUMSGESCHWINDIGKEIT
.
42
DEFEKTGENERATION
.
45
5.2
DAS
SIC
QUELLENMATERIAL
-
MORPHOLOGISCHE
VERAENDERUNGEN
IN
DER
SIC
PULVERQUELLE
.
53
DISKSTRUKTUR
DES
SIC
QUELLEMATERIALS
.
53
KEMBEREICH
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
.
55
VERBRAUCHSBEREICH
DES
SIC
QUELLENMATERIALS
.
58
STOFFTRANSPORT
IM
SIC
QUELLENMATERIAL
.
58
5.3
V
ARIATION
DER
PULVERKOMGROESSE
.
59
SIC
QUELLE
AUS
FEINEM
SIC
PULVER
.
60
SIC
QUELLE
AUS
MAKROSKOPISCHEN
SIC
STUECKEN
.
61
NADELFOERMIGE
MORPHOLOGIE
DER
SIC
QUELLENOBERFLAECHE
.
63
VERGLEICH
UNTERSCHIEDLICHER
SIC
QUELLEN
IM
HINBLICK
AUF
NUMERISCHE
MODELLIERUNG
.
64
5.4
EINFLUSS
DER
PULVERMORPHOLOGIE
AUF
DEN
KRISTALLWACHSTUMSPROZESS
.
65
NUMERISCHES
3
BLOCKMODELL
.
65
TEMPERATURFELD
.
67
STOFFTRANSPORT
.
71
RESUEMEE
FUER
DEN
KRISTALLWACHSTUMSPROZESS
.
73
6
INNOVATIVE
ANSAETZE
ZUR
PVT
ZUECHTUNG
VON
SIC
.
76
6.1
MODIFIZIERTER
PVT
AUFBAU
-
ZUSAETZLICHE
GASZUFUHR
.
76
AENDERUNG
DER
STROEMUNGSVERHAELTNISSE
.
77
DOTIERUNG
.
80
VARIATION
DER
GASPHASENKOMPOSITION
-
EIN
AUSBLICK
.
81
6.2
PVT
VERFAHREN
MIT
INSITU
SIC
PULVERSYNTHESE
.
82
INSITU-SYNTHESEPROZESS
.
82
ZUECHTUNGSPROZESS
.
83
6.3
PVT
VERFAHREN
MIT
PERMEABLER
GRAPHIT-MEMBRAN
.
85
INSITU-SYNTHESEPROZESS
.
85
ROLLE
DER
PERMEABLEN
GRAPHITMEMBRAN
.
85
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
89
8
LITERATURVERZEICHNIS
.
91
9
WISSENSCHAFTLICHER
WERDEGANG
.
100
10
VERZEICHNIS
DER
PUBLIKATIONEN
.
101
11
DANKSAGUNG
.
104
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