Technologische Strategien für die großflächige, homogene Beschichtung von Polycarbonat mittels Mikrowellenplasmapolymerisation: = Technological strategies for large area homogeneous coating of polycarbonate with microwave plasma polymerization
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
2000
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | IKV-Berichte aus der Kunststoffverarbeitung
112 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. |
| Beschreibung: | II, 134 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
.
1
2
VERFAHREN
ZUR
ERZEUGUNG
FUNKTIONELLER BESCHICHTUNGEN
AUF
PC-OBERFLAECHEN
.
5
2.1
LACKIERVERFAHREN
.
5
2.2
SOL-GEL-VERFAHREN
.
7
2.3
PLASMAPOLYMERISATION
.
8
3
GRUNDLAGEN
DER
PLASMAPOLYMERISATION
.
11
3.1
EIGENSCHAFTEN
VON
PLASMEN
.
11
3.2
DIE
PLASMAPOLYMERISATION
.
12
3.3
EINFLUSSGROESSEN
DER
PLASMAPOLYMERISATION
.
16
3.4
PLASMAQUELLEN
(STAND
DER
TECHNIK)
.
20
3.4.1
RESONATORENTLADUNGEN
.
20
3.4.2
WANDERFELDSTRUKTUREN
.
21
3.4.3
MASSNAHMEN
ZUR
HOMOGENISIERUNG
DES
PLASMAS
.
24
4
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
27
4.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
BESCHICHTUNG
.
27
4.1.1
INTERFERENZAUFIIAHMEN
.
29
4.2
CHARAKTERISIERUNG
DES
PLASMAS
.
30
4.2.1
PHOTODIODENMESSUNGEN
.
31
S
CHARAKTERISIERUNG
EINER
LINEAREN,
MIKROWELLENANGEREGTEN
PLASMAQUELLE
GROSSER
LATERALER
AUSDEHNUNG
.
35
5.1
AUFBAU
EINER
ANLAGE
ZUR
GROSSFLAECHIGEN
BESCHICHTUNG
.
36
5.2
PHOTODIODENMESSUNGEN
AN
NICHTSCHICHTBILDENDEN
PLASMEN
.
40
5.3
PHOTODIODENMESSUNGEN
AN
SCHICHTBILDENDEN
PLASMEN
.
47
5.4
ABSCHEIDEVERHALTEN
VON
PLASMAPOLYMERISIERTEN
HMDSO-ARGON-BESCHICHTUNGEN
.
51
N
INHALTSVERZEICHNIS
6
ENTWICKLUNG
EINER
GASEINSPEISUNG
ZUR
HOMOGENEN
MONOMERZUFUEHRUNG
IM
REZIPIENTEN
.
57
6.1
EINLEITUNG
.
57
6.2
STAND
DER
TECHNIK
.
59
6.3
PROBLEMSTELLUNG
.
61
6.4
STROEMUNGSFORMEN
UND
DRUCKBEREICHE
.
63
6.5
KONZEPTION
UND
AUSLEGUNG
DER
NEUEN
GASVERTEILER
.
64
6.6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
70
7
CHARAKTERISIERUNG
DES
SCHICHTWACHSTUMS
PLASMAPOLYMERISIERTER
HMDSO-BESCHICHTUNGEN
.
85
7.1
EINLEITUNG
.
85
7.2
DARSTELLUNG
ALLGEMEINER
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
89
7.3
BESCHICHTUNG
VON
VERTIEFUNGEN
(DREIECKIGEN
QUERSCHNITTS)
.
93
7.4
BESCHICHTUNG
VON
RECHTECKIGEN
STRUKTUREN
(ERHEBUNGEN)
.
101
8
ZUSAMMENFASSUNG/SUMMARY
.
109
9
LITERATURVERZEICHNIS
.
115
10
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
.
127
11
ANHANG
.
129 |
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