Modellierung und Charakterisierung von Wellenleitersensoren für die optische Apertur-Nahfeldmikroskopie:
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
III
1
OPTISCHE
NAHFELDMIKROSKOPIE
-
EIN
UEBERBLICK
1
1.1
KONVENTIONELLE
LICHTMIKROSKOPIE
-
BILDENTSTEHUNG
UND
AUFLOESUNG
.
1
1.2
PRINZIP
UND
METHODEN
OPTISCHER
NAHFELDMIKROSKOPIE
.
3
1.2.1
APERTUR-NAHFELD-MIKROSKOPIE
(A-SNOM)
.
5
1.2.2
PHOTONEN-TUNNEL-MIKROSKOPIE
PSTM
.
8
1.2.3
APERTURLOSE
NAHFELD-MIKROSKOPIE
.
9
1.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
10
1.3
ANWENDUNGEN
OPTISCHER
NAHFELDMIKROSKOPIE
.
11
1.4
TOPOGRAPHIEINDUZIERTE
ARTEFAKTE
.
12
2
WELLENLEITERSONDEN
FUER
DIE
A-SNOM
13
2.1
WELLENFUEHRUNG
IN
ELEMENTAREN
WELLENLEITERN
.
13
2.1.1
RECHTECKHOHLLEITER
.
15
2.1.2
ZYLINDRISCHER
WELLENLEITER
.
16
2.1.3
GETAPERTE
WELLENLEITERSTRUKTUREN
.
16
2.2
PASSIVE
WELLENLEITERSONDEN
.
18
2.2.1
MIKROMECHANISCH
HERGESTELLTE
APERTURSONDE
.
20
2.2.2
KOAXIALSONDEN
.
24
2.3
AKTIVE
SONDEN
.
26
2.3.1
VCSEL-SONDE
.
26
3
MODELLIERUNG
OPTISCHER
WELLENLEITERSONDEN
29
3.1
ANWENDUNG
DER
FINITEN-INTEGRATIONS-TECHNIK
.
31
3.2
APERTURSONDE
.
34
3.2.1
POLARISATIONSEIGENSCHAFTEN
.
40
3.2.2
UEBERTRAGUNG
HOEHER
INDIZIERTER
MODEN
.
42
3.2.3
PARTIELL
GEFUELLTER
WELLENLEITER
.
45
3.2.4
GESCHLOSSENE
APERTURSONDE
.
47
3.3
KOAXIALSONDE
.
49
3.3.1
VERGLEICH
ZWISCHEN
KOAXIAL
UND
APERTURSONDE
.
50
3.3.2
VARIATION
DER
SPITZENGEOMETRIE
.
53
3.4
BOW-TIE-ANTENNE
.
54
3.4.1
BOW-TIE-ANTENNE
ALS
CANTILEVERSONDE
.
56
3.4.2
VARIATION
DER
GEOMETRIE
DER
BOW-TIE-ANTENNE
.
59
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
61
4
EINSATZ
DER
APERTURSONDEN
63
4.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
DES
NAHFELDMIKROSKOPS
.
64
4.1.1
KONFOKALER
AUFBAU
.
64
4.1.2
KRAFT-MIKROSKOP
.
66
4.1.3
ANSTEUERUNG
UND
BETRIEB
DES
MIKROSKOPS
.
66
5
NAHFELDMESSUNGEN
69
5.1
FISCHER-PROBE
.
70
5.2
APERTURSENSOR
.
71
5.2.1
FARADAY-NAHFELDMIKROSKOPIE
.
74
5.3
VCSEL-SENSOR
.
77
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
79
A
THEORIE
DER
FI-TECHNIK
83
B
WELLENLEITERMODEN
87
LITERATURVERZEICHNIS
88
LISTE
DER
VEROEFFENTLICHUNGEN
101
DANKSAGUNG
103
LEBENSLAUF
105
ERKLAERUNG
107 |
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