Wechselwirkung von Wasserstoffatomen mit Si(100)-, Si(111)- und Si(110)-Oberflächen: Adsorption, Abstraktion und Erosion
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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2000
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
5
2.
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
UND
MESSMETHODEN
.
7
2.1
VERSUCHSAUFBAU
.
7
2.1.1
DAS
VAKUUMSYSTEM
(UHV
-
APPARATUR)
.
7
2.1.2
PROBENAUFBAU
.
9
2.1.3
WASSERSTOFFATOMQUELLE
.
11
2.2
MESSMETHODEN
.
14
2.2.1
THERMO-DESORPTIONS-SPEKTROSKOPIE
(TDS)
.
14
2.2.2
DIREKTE-PARTIALDRUCK-MESSUNG
(DPM)
.
16
2.2.3
AUGER-ELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
(AES)
.
17
2.2.4
ELEKTRONEN-ENERGIE-VERLUST-SPEKTROSKOPIE
(ELS,
EELS)
.
20
2.2.5
SCHWINGUNGSSPEKTROSKOPIE
(HREELS)
.
21
3.
OBERFLAECHEN-REAKTIONSMECHANISMEN
.
23
3.1
DER
LANGMUIR-HINSHELWOOD-PROZESS
.
23
3.2
ELEY-RIDEAL-PROZESS
.
24
3.3
HOT-ATOM-PROZESS
.
25
4.
WECHSELWIRKUNG
VON
WASSERSTOFFATOMEN
MIT
DER
SI(100)-OBERFLAECHE:
THEORIE
.
27
4.1
DIE
SI(100)-OBERFLAECHE
.
27
4.2
WASSERSTOFF
AUF
SI(100)
.
28
5.
WECHSELWIRKUNG
THERMISCHER
WASSERSTOFFATOME
MIT
DER
SI(100)-OBERFLAECHE
.
33
5.1
REINIGUNG
DER
KRISTALLOBERFLAECHE
.
33
5.2
ADSORPTION
VON
THERMISCHEN
WASSERSTOFFATOMEN
AUF
SI(
100)
.
35
5.2.1
DIE
MONOHYDRIDPHASE
.
35
5.2.2
DIE
DIHYDRID
UND
TRIHYDRIDPHASE
.
39
5.2.3
SCHWINGUNGSSPEKTROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNG
DER
WASSERSTOFFADSORPTION
AUF
SI(100)
.
44
5.3
INSTATIONAERE
EROSION
.
48
5.4
ABSTRAKTION
VON
WASSERSTOFF
AUF
SI(
100)
.
54
5.4.1
ABSTRAKTION
DER
MONODEUTERIDPHASE
.
54
5.4.2
DISKUSSION
DER
ABSTRAKTION
AUS
DER
MONODEUTERIDPHASE
.
59
5.4.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
ABSTRAKTIONSREAKTION
.
63
5.4.4
HOT-ATOM-KINETIK-MODELL
.
71
5.5
STATIONAERE
EROSION
DER
SI(100)-OBERFLAECHE
DURCH
WASSERSTOFFATOME
.
82
5.6
EELS-UNTERSUCHUNGEN
AN
SI(100)
.
90
6.
WECHSELWIRKUNG
THERMISCHER
WASSERSTOFFATOME
MIT
DER
SI(LLL)-OBERFLAECHE
.
99
6.1
DIE
SI(LLL)-OBERFLAECHE
.
99
6.2
WASSERSTOFFADSORPTION
AUF
SI(LLL)-7X7
.
103
6.3
INSTATIONAERE
EROSION
VON
SI(L
11)
.
108
6.4
STATIONAERE
EROSION
VON
SI(
111)
.
110
6.5
ABSTRAKTION
VON
WASSERSTOFF
AUF
SI(
111)
.
114
6.6
EELS-UNTERSUCHUNGEN
AN
SI(L
11)
.
121
7.
WECHSELWIRKUNG
THERMISCHER
WASSERSTOFF
ATOME
MIT
DER
SI(110)-OBERFLAECHE
.
125
7.1
DIE
SI(110)-OBERFLAECHE
.
125
7.2
WASSERSTOFFADSORPTION
UND
INSTATIONAERE
EROSION
AUF
SI(L
10)
.
127
7.3
A-WASSERSTOFF
.
132
7.4
ABSTRAKTION
UND
STATIONAERE
EROSION
AUF
SI(L
10)
.
145
7.5
EELS-UNTERSUCHUNGEN
AN
SI(L
10)
.
152
8.
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
.
157
9.
ZUSAMMENFASSUNG
.
163
LITERATURVERZEICHNIS
.
167 |
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