Ionenstrahlgestützte Modifizierung von Kaliumtitanylphosphat:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2000
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| Beschreibung: | Jena, Univ., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | 105 Bl. Ill., graph. Darst. : 30 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG.3
2 MATERIALEIGENSCHAFTEN VON KALIUMTITANYLPHOSPHAT (KTP).5
2.1 KRISTALLSTRUKTUR VON KTP UND DER ISOTYPEN.5
2.2 PHYSIKALISCHE EIGENSCHAFTEN VON KTP UND DER ISOTYPEN IM VERGLEICH
MIT LINBOJ.8
2.3 HERSTELLUNGSVERFAHREN.10
3 GRUNDLAGEN DER ION-FESTKOERPER-WECHSELWIRKUNG.11
3.1 ENERGIEVERLUST UND REICHWEITE ENERGIEREICHER IONEN.11
3.2 SIMULATION DER ION-FESTKOERPER-WECHSELWIRKUNG.13
3.3 MODELLVORSTELLUNG ZUR STRAHLENSCHAEDIGUNG.14
3.4 ANWENDUNG DER IONENIMPLANTATION ZUR MODIFIZIERUNG OPTISCHER
EIGENSCHAFTEN.16
3.4.1 MODIFIZIERUNG DER OPTISCHEN EIGENSCHAFTEN DURCH DOTIERUNG.16
3.4.2 MODIFIZIERUNG DER OPTISCHEN EIGENSCHAFTEN DURCH
STRAHLENSCHAEDIGUNG.20
4 ANALYSEMETHODEN.22
4.1 RUTHERFORD-WEITWINKEL-STREUUNG (RBS).22
4.2 TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE (TEM).25
4.3 M-LINIENSPEKTROSKOPIE.26
4.4 NAHFELDMESSUNGEN.28
5 EXPERIMENTELLE BEDINGUNGEN.29
5.1 PROBENPRAEPARATION.29
5.1.1 IONENIMPLANTATION.29
5.1.2 AUSHEILUNG. 30
5.1.3 IONENAUSTAUSCH.31
5.2 ANALYSE. .31
5.2.1 RUTHERFORD-WEITWINKELSTREUUNG (RBS).31
5.2.2 TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE (TEM).31
5.2.3 FOTOLUMINESZENZ.32
6 ERGEBNISSE UND DISKUSSION.33
6.1 UNTERSUCHUNGEN ZUR STRAHLENSCHAEDENERZEUGUNG.33
6.1.1 IMPLANTATION VON IONEN KLEINER MASSE (HE, LI).33
6.1.1.1 DOSISABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG.33
6.1.1.2 ABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG VON DER IONENENERGIE.37
6.1.1.3 OBERFLAECHENNAHE BRECHZAHLAENDERUNG.38
6.1.1.4 ABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG VON DER
IMPLANTATIONSTEMPERATUR.40
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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6.1.1.5 ZUSAMMENFASSUNG.43
6.1.2 IMPLANTATION VON IONEN SCHWERER MASSEN MIT HOHER ENERGIE (KR,
XE).44
6.1.2.1 DOSISABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG.44
6.1.2.2 STRUKTUR DER STRAHLENSCHAEDIGUNG.47
6.1.2.3 ZUSAMMENFASSUNG.49
6.1.3 IMPLANTATION VON IONEN SCHWERER MASSE MIT MITTLERER ENERGIE
(ER).49
6.1.3.1 DOSISABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG.'.49
6.1.3.2 ABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG VON DER
IMPLANTATIONSTEMPERATUR.51
6.1.3.3 ABHAENGIGKEIT DER ERBIUMVERTEILUNG VON DER
IMPLANTATIONSTEMPERATUR.54
6.1.3.4 ZUSAMMENFASSUNG.56
6.1.4 IMPLANTATION VON IONEN MITTLERER MASSE (B, N, AR).57
6.1.4.1 DOSISABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG.57
6.1.4.2 STRUKTUR DER STRAHLENSCHAEDEN.60
6.1.4.3 ABHAENGIGKEIT DER STRAHLENSCHAEDIGUNG VON DER
IMPLANTATIONSTEMPERATUR.61
6.1.4.4 ZUSAMMENFASSUNG.62
6.1.5 BES
TIMMUNG DES SCHWELLWERTES FUER DIE ELEKTRONISCHE ENERGIEDEPONIERUNG.63
6.2 DIE STRAHLENSCHAEDIGUNG DURCH IONENIMPLANTATION IN KTP.65
6.3 AUSHEILUNG VON STRAHLENSCHAEDEN.67
6.3.1 AUSHEILUNG NACH DER IMPLANTATION VON IONEN KLEINER MASSEN (HE,
LI).67
6.3.2 AUSHEILUNG NACH DER IMPLANTATION VON IONEN MITTLERER MASSEN (B, N,
AR).70
6.3.3 AUSHEILUNG NACH DER IMPLANTATION VON IONEN SCHWERER MASSEN (ER).71
6.3.3.1 AUSHEILUNG DER STRAHLENSCHAEDEN BEI EINER AUSHEILTEMPERATUR VON
750C.71
6.3.3.2 AUSHEILUNG DER STRAHLENSCHAEDEN BEI AUSHEILTEMPERATUREN OBERHALB
750C. 75
6.3.3.3 VERHINDERUNG DER ERBIUMDIFFUSION DURCH KOIMPLANTATION.77
6.3.3.4 ZUSAMMENFASSUNG.79
6.4 BEISPIELE ZUR ANWENDUNG DER IONENIMPLANTATION IN KTP.
U
.80
6.4.1 ERZEUGUNG PASSIVER OPTISCHER STRUKTUREN.80
6.4.2 WEITERE GEPLANTE PASSIVE WELLENLEITERSTRUKTUREN.84
6.4.3 ERZEUGUNG AKTIVER OPTISCHER STRUKTUREN.86
6.4.3.1 LUMINESZENZ IN PRIMAER AMORPHEN SCHICHTEN. 86
6.4.3.2 LUMINESZENZ IN PRIMAER NICHT AMORPHEN SCHICHTEN NACH
IMPLANTATION.89
6.4.3.3 LUMINESZENZ IN PRIMAER NICHT AMORPHEN SCHICHTEN NACH
AUSHEILUNG.92
6.4.3.4 ZUSAMMENFASSUNG.94
7 RESUEMEE UND AUSBLICK.95
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