Bestimmung des Haftkoeffizienten von Methyl-Radikalen auf amorphen, wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten unter Verwendung von quantifizierten Radikalteilchenstrahlquellen: = Determination of the sticking probability of methyl-radicals on amorphous hydrogenated carbon films, applying quantified radical beam sources
Gespeichert in:
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Format: | Buch |
Sprache: | German English |
Veröffentlicht: |
Garching
Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
2000
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Schriftenreihe: | IPP-Report
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Beschreibung: | Zugl.: Bayreuth, Univ., Diss., 2000 |
Beschreibung: | II, 86, XIX S. Ill., graph. Darst. |
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