Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL):
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Achenbach, Sven (VerfasserIn), Pantenburg, Franz Josef (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Karlsruhe FZKA 2000
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6576
Schlagworte:
Online-Zugang:Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:138 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm

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