Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
2000
|
| Series: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3833 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000. - Zsfassung in engl. Sprache |
| Physical Description: | 64 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013688685 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20060309 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010410s2000 gw ad|| tm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 961162252 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)48404475 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013688685 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-703 | ||
| 084 | |a PHY 136d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 658d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 279d |2 stub | ||
| 088 | |a Jül 3833 | ||
| 100 | 1 | |a Roß, Christoph |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie |c Christoph Roß |
| 246 | 1 | 3 | |a Jül 3833 |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |c 2000 | |
| 300 | |a 64 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3833 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000. - Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallwachstum |0 (DE-588)4123579-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rastersondenmikroskopie |0 (DE-588)4330328-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Kristallwachstum |0 (DE-588)4123579-4 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Rastersondenmikroskopie |0 (DE-588)4330328-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3833 |w (DE-604)BV004194732 |9 3833 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009353757&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
Record in the Search Index
| _version_ | 1805068623161589760 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
.
1
1
GRUNDLAGEN
.
2
1.1
WASSERSTOFFHALTIGES
MIKROKRISTALLINES
SILICIUM
.
2
1.2
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
.4
1.2.1
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
5
1.2.2
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
.
6
1.2.3
RASTERTUNNELSPEKTROSKOPIE
.
7
1.3
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
9
1.4
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
10
2
EXPERIMENTELLES
.
12
2.1
PROBENPRAEPARATION
.
12
2.2
CHARAKTERISIERUNG
IM
UHV
.
13
2.3
WEITERE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
14
3
DER
UEBERGANG
VOM
AMORPHEN
ZUM
MIKROKRISTALLINEN
WACHSTUM
.
16
3.1
OHNE
WASSERSTOFFVERDUENNUNG
DEPONIERTE
AMORPHE
FILME
(7?
=
100%)
.
16
3.2
SILANKONZENTRATION
R
=
10%
.
18
3.3
SILANKONZENTRATION
R
=
3,4%
.
19
3.4
SILANKONZENTRATION
R
=
2%
.
20
3.5
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
21
4
WACHSTUM
AUF
OXIDIERTEM
SI(100)
.
22
4.1
WACHSTUM
VON
ZWEIPHASENFILMEN
.
22
4.1.1
ERGEBNISSE
DER
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
22
4.1.2
WEITERE
ERGEBNISSE
DER
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
.
24
4.2
LATERALE
FILMINHOMOGENITAETEN
.
25
4.3
UNTERSUCHUNG
DES
ANFANGSWACHSTUMS
.
27
4.3.1
V
ORUEBERLEGUNGEN
.
27
4.3.2
GEOMETRISCHE
STRUKTUR
.
28
4.3.3
TUNNELSPEKTROSKOPIE
.
30
4.4
EINFLUSS
DER
WASSERSTOFFVERDUENNUNG
UND
SUBSTRATVORBEHANDLUNG
.
31
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
32
5
WACHSTUM
AUF
VERSCHIEDENEN
SUBSTRATEN
.
34
5.1
WACHSTUM
AUF
AMORPHEM
SILICIUM
.
34
5.2
WACHSTUM
AUF
POLYKRISTALLINEM
GRAPHIT
.
36
5.3
WACHSTUM
AUF
WASSERSTOFFPASSIVIERTEM
SI(100)
.
38
6
DISKUSSION
.40
6.1
STRUKTUR
UND
WACHSTUM
.
40
6.1.1
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.40
6.1.2
DISKUSSION
DER
WACHSTUMSMECHANISMEN
.
42
6.2
KEIMBILDUNG
.
48
6.2.1
EINFLUSS
DER
SILANKONZENTRATION
UND
DES
SUBSTRATMATERIALS
.
49
6.2.2
NUKLEATIONSMODELL
.
51
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
56
LITERATURVERZEICHNIS
.
58 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Roß, Christoph |
| author_facet | Roß, Christoph |
| author_role | aut |
| author_sort | Roß, Christoph |
| author_variant | c r cr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013688685 |
| classification_tum | PHY 136d PHY 658d ELT 279d |
| ctrlnum | (OCoLC)48404475 (DE-599)BVBBV013688685 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013688685</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20060309</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010410s2000 gw ad|| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">961162252</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)48404475</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013688685</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 136d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 658d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 279d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 3833</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Roß, Christoph</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="c">Christoph Roß</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Jül 3833</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">64 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3833</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000. - Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123579-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rastersondenmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4330328-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Kristallwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123579-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Rastersondenmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4330328-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3833</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">3833</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009353757&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013688685 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-20T03:53:04Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009353757 |
| oclc_num | 48404475 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-703 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-703 |
| physical | 64 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Roß, Christoph Verfasser aut Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie Christoph Roß Jül 3833 Jülich Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. 2000 64 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3833 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000. - Zsfassung in engl. Sprache Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd rswk-swf Rastersondenmikroskopie (DE-588)4330328-6 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Mikrokristall (DE-588)4169828-9 s Wasserstoff (DE-588)4064784-5 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 s Rastersondenmikroskopie (DE-588)4330328-6 s DE-604 Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3833 (DE-604)BV004194732 3833 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009353757&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Roß, Christoph Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd Rastersondenmikroskopie (DE-588)4330328-6 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4123579-4 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4169828-9 (DE-588)4330328-6 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4064784-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie |
| title_alt | Jül 3833 |
| title_auth | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie |
| title_exact_search | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie |
| title_full | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie Christoph Roß |
| title_fullStr | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie Christoph Roß |
| title_full_unstemmed | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie Christoph Roß |
| title_short | Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie |
| title_sort | untersuchung der wachstumsmechanismen von mikrokristallinem silicium mittels rastertunnelmikroskopie und rasterkraftmikroskopie |
| topic | Kristallwachstum (DE-588)4123579-4 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd Rastersondenmikroskopie (DE-588)4330328-6 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd |
| topic_facet | Kristallwachstum Silicium Mikrokristall Rastersondenmikroskopie PECVD-Verfahren Wasserstoff Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009353757&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT roßchristoph untersuchungderwachstumsmechanismenvonmikrokristallinemsiliciummittelsrastertunnelmikroskopieundrasterkraftmikroskopie AT roßchristoph jul3833 |