Untersuchung der Wachstumsmechanismen von mikrokristallinem Silicium mittels Rastertunnelmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
2000
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| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3833 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000. - Zsfassung in engl. Sprache |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
.
1
1
GRUNDLAGEN
.
2
1.1
WASSERSTOFFHALTIGES
MIKROKRISTALLINES
SILICIUM
.
2
1.2
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
.4
1.2.1
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
5
1.2.2
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
.
6
1.2.3
RASTERTUNNELSPEKTROSKOPIE
.
7
1.3
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
9
1.4
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
10
2
EXPERIMENTELLES
.
12
2.1
PROBENPRAEPARATION
.
12
2.2
CHARAKTERISIERUNG
IM
UHV
.
13
2.3
WEITERE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
14
3
DER
UEBERGANG
VOM
AMORPHEN
ZUM
MIKROKRISTALLINEN
WACHSTUM
.
16
3.1
OHNE
WASSERSTOFFVERDUENNUNG
DEPONIERTE
AMORPHE
FILME
(7?
=
100%)
.
16
3.2
SILANKONZENTRATION
R
=
10%
.
18
3.3
SILANKONZENTRATION
R
=
3,4%
.
19
3.4
SILANKONZENTRATION
R
=
2%
.
20
3.5
SCHLUSSFOLGERUNGEN
.
21
4
WACHSTUM
AUF
OXIDIERTEM
SI(100)
.
22
4.1
WACHSTUM
VON
ZWEIPHASENFILMEN
.
22
4.1.1
ERGEBNISSE
DER
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
22
4.1.2
WEITERE
ERGEBNISSE
DER
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
.
24
4.2
LATERALE
FILMINHOMOGENITAETEN
.
25
4.3
UNTERSUCHUNG
DES
ANFANGSWACHSTUMS
.
27
4.3.1
V
ORUEBERLEGUNGEN
.
27
4.3.2
GEOMETRISCHE
STRUKTUR
.
28
4.3.3
TUNNELSPEKTROSKOPIE
.
30
4.4
EINFLUSS
DER
WASSERSTOFFVERDUENNUNG
UND
SUBSTRATVORBEHANDLUNG
.
31
4.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
32
5
WACHSTUM
AUF
VERSCHIEDENEN
SUBSTRATEN
.
34
5.1
WACHSTUM
AUF
AMORPHEM
SILICIUM
.
34
5.2
WACHSTUM
AUF
POLYKRISTALLINEM
GRAPHIT
.
36
5.3
WACHSTUM
AUF
WASSERSTOFFPASSIVIERTEM
SI(100)
.
38
6
DISKUSSION
.40
6.1
STRUKTUR
UND
WACHSTUM
.
40
6.1.1
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.40
6.1.2
DISKUSSION
DER
WACHSTUMSMECHANISMEN
.
42
6.2
KEIMBILDUNG
.
48
6.2.1
EINFLUSS
DER
SILANKONZENTRATION
UND
DES
SUBSTRATMATERIALS
.
49
6.2.2
NUKLEATIONSMODELL
.
51
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
56
LITERATURVERZEICHNIS
.
58 |
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