Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Science for Materials: (SPSM-12) Tokyo, Japan, 16 - 17 June 1999
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2001
Schriftenreihe:Thin solid films 386,2
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:VI S., S.134 - 316 Ill., graph. Darst.

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