Die Schmelzenströmung im Si-Czochralski-Prozeß unter dem Einfluß elektromagnetischer Felder:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 328 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | XII, 158 S. Ill., graph. Darst. |
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V
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
1
2
WAERME
UND
STOFFTRANSPORT
IN
DER
CZ-SCHMEIZE
3
2.1
TYPISCHE
STROEMUNGS-,
TEMPERATUR-UND
KONZENTRATIONSVERTEILUNG
.
3
2.2
ANFORDERUNGEN
UND
VERGLEICHSKRITERIEN
.
6
2.3
HERAUSFORDERUNGEN
BEI
DER
ZUECHTUNG
VON
300
MM-KRISTALLEN
.
12
2.4
EINSATZ
ELEKTROMAGNETISCHER
FELDER
.
14
3
BETRACHTETE
ANORDNUNG
17
3.1
KOMPONENTEN
UND
MASSE
.
17
3.2
UEBERTRAGBARKEIT
DER
ERGEBNISSE
HINSICHTLICH
DER
ANLAGENGROESSE
.
20
3.3
VERWENDETE
MATERIALDATEN
VON
SILIZIUM
.
22
4
MATHEMATISCHE
MODELLIERUNG
23
4.1
AXIALSYNUNETRISCH-ZWEIDIMENSIONALE
NAEHERUNG
.
23
4.2
UEBERBLICK
ZUR
MODELLKETTE
.
24
4.3
ELEKTROMAGNETISCHES
MODELL
.
25
4.4
HYDRODYNAMISCH-THERMISCHES
MODELL
.
26
4.5
VEREINFACHTES
SAUERSTOFFTRANSPORTMODELL
.
35
5
NUMERISCHE
SIMULATIONSPROGRAMME
37
5.1
ELEKTROMAGNETISCHE
FELDER
.
37
5.2
WAERME-UND
STOFFTRANSPORT
.
37
5.3
VERIFIKATION
DER
NUMERISCHEN
SIMULATIONSPROGRAMME
.
40
6
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
60
6.1
VERGLEICHSFALL
OHNE
ELEKTROMAGNETISCHEN
EINFLUSS
.
61
6.2
SEITENINDUKTOR
.
75
6.3
BODENINDUKTOR
.
87
VI
INHALTSVERZEICHNIS
6.4
WANDERFELD
NACH
UNTEN
.
103
6.5
WANDERFELD
NACH
OBEN
.
120
6.6
CUSP-FELD
.
132
6.7
ABSCHLIESSENDER
UEBERBLICK
UND
VERGLEICH
.
143
7
AUSBLICK
146
8
ZUSAMMENFASSUNG
148
LITERATUR
151 |
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