Entwicklung von korrosionsinhibierenden Haftvermittlermolekülen für die Mikroelektronik:
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1998
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INHALT
INHALT
A.
EINLEITUNG
1
B.
DESIGN
DER
HAFTVERMITTLERMOLEKUELE
10
1.
FUNKTIONELLE
GRUPPEN
FUER
DIE
ANBINDUNG
AN
EINE
KUPFEROBERFLAECHE
10
1.1
SELBSTORGANISIERTE
SCHICHTEN
VON
ALKYLTHIOLEN
AUF
KUPFEROBERFLAECHEN
11
1.2
SELBSTORGANISIERTE
SCHICHTEN
VON
DIALKYLDISULFIDEN
AUF
KUPFEROBERFLAECHEN
19
1.3
ETHYLENDIAMIN
ALS
KORROSIONSINHIBITOR
21
1.4
PHTHALOCYANINE
ALS
KORROSIONSINHIBITOREN
22
2.
FUNKTIONELLE
GRUPPEN
FUER
DIE
ANBINDUNG
AN
DAS
EPOXIDHARZ
24
C.
ORGANISCHE
SYNTHESEN
26
1.
SYNTHESEUEBERSICHT
26
2.
DARSTELLUNG
DER
THIOALKOHOLE
28
3.
DARSTELLUNG
DER
DISULFIDE
34
4.
DARSTELLUNG
DER
ETHYLENDIAMINE
37
5.
DARSTELLUNG
DER
PHTHALOCYANINE
40
6.
STRUKTURUEBERSICHT
DER
DARGESTELLTEN
HAFTVERMITTLERMOLEKUELE
44
YY.THERMISCHE
UNTERSUCHUNGEN
47
1.
TCA
UND
DSC-MESSUNGEN
MIT
ALKYLTHIOLEN
BESCHICHTETER
KUPFERPULVER
48
2.
TGA
UND
DSC-MESSUNGEN
NACH
REDUZIERUNG
DES
OBERFLAECHLICHEN
KUPFEROXIDES
50
3.
UEBERPRUEFUNG
DER
KORROSIONSINHIBIERENDEN
WIRKUNG
VON
TENSIDVERBINDUNGEN
IN
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
METALLSEITIGEN
KOPFGRUPPE
UND
DER
KETTENLAENGE
52
4.
THERMOGRAVIMETRISCHE
ANALYSE
DER
SCHICHTEN
BIFUNKTIONELLER
VERBINDUNGEN
61
5.
BESTIMMUNG
DER
AKTIVIERUNGSENERGIE
FUER
DIE
DESORPTION
MONOFUNKTIONELLER
ALKYITHIOLE
VON
EINER
METALLOBERFLAECHE
MITTELS
THERMOGRAVIMETRIE
68
E.
OBERFLAECHENUNTERSUCHUNGEN
74
1.
APPARATIVE
GRUNDLAGEN
74
2.
OBERFLAECHENUNTERSUCHUNGEN
AN
GEREINIGTEN
KUPFERPROBEN
74
3.
APPLIKATION
DER HAFTVERMITTLER
79
4.
OBERFLAECHENANALYTIK
BESCHICHTETER
KUPFERPROBEN
79
5.
NACHWEIS
DER
HAFTVERMITTLERSCHICHT
NACH
DEM
YYMOLDEN"
88
6.
OBERFLAECHENCHARAKTERISIERUNG
DES
WERKSTOFFES
ALLOY42
89
F.
SCHERVERSUCHE
91
1.
APPARATIVE
GRUNDLAGEN
91
2.
STANDARDISIERTES
TESTVERFAHREN
92
3.
HAFTUNG
AUF
GEREINIGTEM
KUPFER
94
4.
HAFTUNG
AUF
BESCHICHTETEM
KUPFER
95
5,
HAFTUNG
AUF
ALLOY42
101
G.
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
105
II
INHALT
H.
ZUSAMMENFASSUNG
110
1.
EXPERIMENTELLE
DATEN
111
1.
ORGANISCHE
SYNTHESEN
111
1.1
METHODEN
UND
MATERIAL
111
1.2
SYNTHESE
DER
THIOLVERBINDUNGEN
113
1.3
SYNTHESE
DER
DISULFIDVERBINDUNGEN
126
1.4
SYNTHESE
DER
ETHYLENDIAMINVERBINDUNGEN
131
1.5
SYNTHESE
DER
PHTHALOCYANINVERBINDUNGEN
134
2.
SCHERVERSUCHE
138
2.1
KUPFER-TESTREIHE
1
138
2.2
KUPFER-TESTREIHE
2
139
2.3
KUPFER-TESTREIHE
3
141
2.4
KUPFER-TESTREIHE
4
144
2.5
KUPFER-TESTREIHE
4
146
2.6
ALLOY42
147
|.
LITERATURVERZEICHNIS
152 |
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