Identifikation tiefer Störstellen in Siliziumkarbid mittels Radiotracer-Spektroskopie:
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2000
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 3
2 SILIZIUMKARBID 6
2.1 POLYTYPIE . 6
2.2 MATERIALPARAMETER VON 4
H-, 6H- UND 1512-SIC. 8
\
3 MESSVERFAHREN 9
3.1 DER SCHOTTKY-KONTAKT . 10
3.2 DEEP LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY (DLTS). 12
3.2.1 DAS KLASSISCHE DLTS-VERFAHREN. 16
3.2.2 ERWEITERTES DLTS-VERFAHREN (MEHRERE KORRELATIONSFUNKTIONEN) . 16
3.2.3 EINFLUSS DES ELEKTRISCHEN FELDES AUF DIE EMISSION. 18
3.2.4 TIEFENPROFILANALYSE - ISOTHERME MESSUNGEN. 20
3.2.5 INHOMOGENE STOERSTELLENPROFILE. 22
3.2.6 WIRKUNGSQUERSCHNITT. 23
3.3 RADIOTRACER-SPEKTROSKOPIE . 25
3.4 THERMISCHE ADMITTANZSPEKTROSKOPIE (TAS). 27
4 EXPERIMENT 29
4.1 MESSAPPARATUREN. 29
4.2 PROBENPRAEPARATION. 30
4.3 IONENIMPLANTATION STABILER ATOME. 32
4.4 RUECKSTOSSIMPLANTATION RADIOAKTIVER ISOTOPE. 32
4.5 AUSHEILEN DES STRAHLENSCHADENS - AKTIVIERUNG DER STOERSTELLEN. 35
4.6 PRAEPARATION DER ELEKTRISCHEN KONTAKTE . 36
4.7 DIODENKENNLINIEN. 37
4.8 FEHLERBETRACHTUNG. 38
4.9 STICKSTOFFDONATOREN IN 15I?-SIC . 39
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALTSVERZEICHNIS
2
5 DIE UEBERGANGSMETALLE TI, V UND CR IN SIC 41
5.1 EXPERIMENT. 42
5.2 ERGEBNISSE 6I7-SIC. 45
5.2.1 ELEKTRISCHE FELDSTAERKEABHAENGIGKEIT . 48
5.2.2 ELEKTRISCHE AKTIVITAET. 48
5.2.3 PULSLAENGENABHAENGIGKEIT. 49
5.3 ERGEBNISSE IN 15SS-SILIZIUMKARBID. 50
5.3.1 TRANSIENTENFIT. 54
5.3.2 STABILES VANADIUM IN 15I?-SIC. 56
5.3.3 ELEKTRISCHE FELDSTAERKEABHAENGIGKEIT . 57
5.3.4 PULSLAENGENABHAENGIGKEIT. 58
5.4 DISKUSSION. 60
5.4.1 CHROM. 60
5.4.2 VANADIUM.'. 61
6 TANTAL IN SILIZIUMKARBID 67
6.1 EXPERIMENT. 68
6.2 STABILES
181TA IN SILIZIUMKARBID. 70
6.3 RADIOAKTIVES
177TA IN 4UE-SILIZIUMKARBID. 74
6.4 ELEKTRISCHE FELDSTAERKEABHAENGIGKEIT . 77
6.5 DISKUSSION. 78
7 GALLIUM UND ZINK IN P-TYP 6I7-SIC 84
7.1 EXPERIMENT.*. 85
7.2 ERGEBNISSE
67GA IN P-TYP 6#-SIC. 86
7.3 PROFILANALYSE. 88
7.4 ELEKTRISCHE FELDSTAERKEABHAENGIGKEIT . 89
7.5 DISKUSSION. 90
8 POLYTYPENABHAENGIGKEIT DER STOERNIVEAUS 91
9 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 97
A ZUORDNUNG ZEITLICH STABILER DEFEKTE I
B PROBENLISTEN
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