Struktur und Morphologie dünner CaF2-Schichten auf Si:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Logos-Verl.
2001
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | XII, 158 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
VERWENDETE
MESSMETHODEN
5
2.1
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
.
5
2.1.1
WECHSELWIRKUNGEN
ZWISCHEN
SONDE
UND
PROBE
.
7
2.1.2
BETRIEBSARTEN
.
8
2.1.3
DER
AUFBAU
DES
RASTERKRAFTMIKROSKOPES
.
10
2.2
STEHENDE
ROENTGENWELLENFELDER
.
11
2.2.1
STEHENDE
WELLEN
ALS
MESSSONDEN
.
12
2.2.2
ERZEUGUNG
STEHENDER
ROENTGENWELLEN
.
13
2.2.3
DIE
SEKUNDAERSIGNALE
BEI
XSW-MESSUNGEN
.
15
2.3
ELEKTRONENBEUGUNG
UND
-BESTRAHLUNG
.
17
2.4
OBERFLAECHENROENTGENBEUGUNG
.
19
2.4.1
GRUNDLAGEN
DER
ROENTGENBEUGUNG
.
20
2.4.2
BEUGUNG
AN
OBERFLAECHEN
UND
DUENNEN
SCHICHTEN
.
22
2.4.3
DAS
6-KREIS
Z-ACHSEN
DIFFRAKTOMETER
AM
BW2
.
26
2.4.4
ANPASSEN
VON
MODELLPARAMETERN
.
27
2.5
DIE
UHV-SYSTEME
.
28
2.5.1
DIE
MESSAPPARATUR
IN
HANNOVER
.
29
2.5.2
DAS
UHV-XSW
SYSTEM
AM
HASYLAB
.
31
2.5.3
DIE
MBE-ANLAGE
AM
HASYLAB
.
31
2.5.4
TEMPERATURMESSUNG
.
32
2.5.5
VERDAMPFER
.
32
3
ATOMARE
STRUKTUR
VON
CAF
2
AUF
SI(LLL)
35
3.1
EINFUEHRUNG
UND
BISHERIGER
STAND
DER
FORSCHUNG
.
35
3.1.1
MOTIVATION
.
36
3.1.2
CHEMISCHE
BINDUNGEN
UND
STOECHIOMETRIE
.
37
3.1.3
ATOMARE
STRUKTUR
DER
GRENZFLAECHE
.
38
3.1.4
EINFLUSS
DER
GRENZFLAECHE
AUF
DIE
STRUKTUR
DER
CAF
2
FILME
.
40
3.2
MESSUNGEN
MIT
STEHENDEN
ROENTGENWELLEN
.
42
3.2.1
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
ALS
SEKUNDAERSIGNAL
FUER
XSW
.
.
43
3.2.2
ERGEBNISSE
DER
XSW-MESSUNGEN
.
45
3.2.3
DISKUSSION
DER
XSW-MESSUNGEN
.
55
3.3
XRD-STUDIE
DER
STRUKTUR
DUENNER
CAF
2
-FILME
.
59
3.3.1
EINFUEHRUNG
.
59
3.3.2
RELAXATION
DER
FILME
.
63
3.3.3
ORIENTIERUNG
DER
CAFJ-FILME
.
69
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
71
4
STABILITAET
DER
CAF
2
-SCHICHTEN
75
4.1
FRUEHERE
UNTERSUCHUNGEN
.
76
4.2
VERAENDERUNG
DER
MORPHOLOGIE
DURCH
LUFT
.
77
4.3
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
.
80
5
MODELLE
ZUM
HETEROEPITAKTISCHEN
WACHSTUM
87
5.1
ELEMENTARE
PROZESSE
.
87
5.2
HOMOEPITAXIE
.
88
5.2.1
HOMOGENE
NUKLEATION
.
89
5.2.2
WACHSTUM
VON
INSELN
.
90
5.2.3
HETEROGENE
NUKLEATION
.
91
5.3
HETEROEPITAXIE
.
92
6
MONTE-CARLO-SIMULATIONEN
95
6.1
SIMULATIONSMODELL
.
96
6.2
ERGEBNISSE
DER
SIMULATIONEN
.
97
7
WACHSTUM
VON
CAF
2
/SI(LLL)
105
7.1
2-STUFEN-PROZESS
AUF
VICINALEN
SUBSTRATEN
.
106
7.2
2-STUFEN-PROZESS
AUF
WOHLORIENTIERTEN
SUBSTRATEN
.
114
7.3
CAF
2
-EPITAXIE
OHNE
ZWISCHENSCHRITT
.
118
7.4
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
120
8
ELEKTRONENBESCHUSS
VON
CAF
2
-FILMEN
123
8.1
EINFUEHRUNG
.
123
8.1.1
ERZEUGUNG
VON
PUNKTDEFEKTEN
.
123
8.1.2
BILDUNG
VON
METALLISCHEN
KOLLOIDEN
.
125
8.1.3
ANWENDUNGSPERSPEKTIVEN
.
126
8.2
MESSUNGEN
MIT
STEHENDEN
ROENTGENWELLEN
.
127
8.3
BESTRAHLUNGSINDUZIERTE
MORPHOLOGIEAENDERUNG
.
130
8.4
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
136
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
141
LITERATURVERZEICHNIS
145
XII |
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