Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch Software E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2000
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss., 2000.- Titel auf der Beil. |
| Beschreibung: | 1 CD-ROM 12 cm Beil. ([1] Bl.) |
| Format: | PDF. - Word 8.0 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013549874 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20180523 | ||
| 006 | a m||| 00||| | ||
| 007 | co|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 010123s2000 |||| q||u| ||||||ger d | ||
| 016 | 7 | |a 960483586 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)633125266 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013549874 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-29T | ||
| 084 | |a ELT 299d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Käsmaier, Rainer |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm |c von Rainer Käsmaier |
| 264 | 1 | |c 2000 | |
| 300 | |a 1 CD-ROM |c 12 cm |e Beil. ([1] Bl.) | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cd |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss., 2000.- Titel auf der Beil. | ||
| 538 | |a PDF. - Word 8.0 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Projektion |g Optik |0 (DE-588)4361685-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Nanometerbereich |0 (DE-588)4327473-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Belichtung |0 (DE-588)4005413-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenstrahllithografie |0 (DE-588)4619761-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4139307-7 |a CD-ROM |2 gnd-carrier | |
| 689 | 0 | 0 | |a Ionenstrahllithografie |0 (DE-588)4619761-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Belichtung |0 (DE-588)4005413-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Projektion |g Optik |0 (DE-588)4361685-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Nanometerbereich |0 (DE-588)4327473-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009252211 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804128347036319744 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Käsmaier, Rainer |
| author_facet | Käsmaier, Rainer |
| author_role | aut |
| author_sort | Käsmaier, Rainer |
| author_variant | r k rk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013549874 |
| classification_tum | ELT 299d |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)633125266 (DE-599)BVBBV013549874 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Electronic Software eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01637nmm a2200445 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013549874</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20180523 </controlfield><controlfield tag="006">a m||| 00||| </controlfield><controlfield tag="007">co|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">010123s2000 |||| q||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">960483586</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)633125266</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013549874</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 299d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Käsmaier, Rainer</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm</subfield><subfield code="c">von Rainer Käsmaier</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 CD-ROM</subfield><subfield code="c">12 cm</subfield><subfield code="e">Beil. ([1] Bl.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cd</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss., 2000.- Titel auf der Beil.</subfield></datafield><datafield tag="538" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PDF. - Word 8.0</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Projektion</subfield><subfield code="g">Optik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4361685-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanometerbereich</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327473-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Belichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005413-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4619761-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4139307-7</subfield><subfield code="a">CD-ROM</subfield><subfield code="2">gnd-carrier</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Ionenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4619761-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Belichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005413-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Projektion</subfield><subfield code="g">Optik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4361685-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Nanometerbereich</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327473-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009252211</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content (DE-588)4139307-7 CD-ROM gnd-carrier |
| genre_facet | Hochschulschrift CD-ROM |
| id | DE-604.BV013549874 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:47:48Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009252211 |
| oclc_num | 633125266 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T |
| physical | 1 CD-ROM 12 cm Beil. ([1] Bl.) |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| record_format | marc |
| spelling | Käsmaier, Rainer Verfasser aut Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm von Rainer Käsmaier 2000 1 CD-ROM 12 cm Beil. ([1] Bl.) txt rdacontent c rdamedia cd rdacarrier Kassel, Univ. Gesamthochsch., Diss., 2000.- Titel auf der Beil. PDF. - Word 8.0 Projektion Optik (DE-588)4361685-9 gnd rswk-swf Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd rswk-swf Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd rswk-swf Ionenstrahllithografie (DE-588)4619761-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content (DE-588)4139307-7 CD-ROM gnd-carrier Ionenstrahllithografie (DE-588)4619761-8 s Belichtung (DE-588)4005413-5 s Projektion Optik (DE-588)4361685-9 s Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 s DE-604 |
| spellingShingle | Käsmaier, Rainer Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm Projektion Optik (DE-588)4361685-9 gnd Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd Ionenstrahllithografie (DE-588)4619761-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4361685-9 (DE-588)4327473-0 (DE-588)4005413-5 (DE-588)4619761-8 (DE-588)4113937-9 (DE-588)4139307-7 |
| title | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm |
| title_auth | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm |
| title_exact_search | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm |
| title_full | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm von Rainer Käsmaier |
| title_fullStr | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm von Rainer Käsmaier |
| title_full_unstemmed | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm von Rainer Käsmaier |
| title_short | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm |
| title_sort | ionen projektions lithographie fur die industrielle herstellung von integrierten schaltungen mit strukturgrossen kleiner 100nm |
| topic | Projektion Optik (DE-588)4361685-9 gnd Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd Belichtung (DE-588)4005413-5 gnd Ionenstrahllithografie (DE-588)4619761-8 gnd |
| topic_facet | Projektion Optik Nanometerbereich Belichtung Ionenstrahllithografie Hochschulschrift CD-ROM |
| work_keys_str_mv | AT kasmaierrainer ionenprojektionslithographiefurdieindustrielleherstellungvonintegriertenschaltungenmitstrukturgrossenkleiner100nm |