Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCl:
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Werkstofftechnik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
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