Strahlenschädenerzeugung in GaAs und InP durch Hochenergie-Ionenbestrahlung:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
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2000
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EINLEITUNG
1
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG.2
2. GRUNDLAGEN DER IONENIMPLANTATION.7^.4
2.1 ION-FESTKOERPER-WECHSELWIRKUNG.4
2.2 STRAHLENSCHAEDENERZEUGUNG DURCH DEN NUKLEAREN ENERGIEVERLUST.7
2.3 MODELLE DER SCHAEDENBILDUNG. 15
3. GRUNDLAGEN DER MESSMETHODEN.20
3.1 RUTHERFORD-WEITWINKELSTREUUNG RBS.20
3.1. 1 MESSPRINZIP.20
3.1.2 MESSUNG DER STRAHLENSCHAEDEN.23
3.1.3 BERECHNUNG DER DEFEKTKONZENTRATION.26
3.2 TRANSMISSIONS-ELEKTRONEN-MIKROSKOPIE.28
3.2.1 GRUNDLAGEN
.28
3.2.2 BILDENTSTEHUNG.29
4. EXPERIMENTELLE BEDINGUNGEN. 31
4.1 IONENIMPLANTATION.31
4.2 MESSUNGEN.33
4.2.1 RBS.33
4.2.2 TEM. 34
5. STRAHLENSCHAEDENERZEUGUNG DURCH IONEN MITTLERER ENERGIE.35
5.1 UNTERSUCHUNGEN IN GAAS.36
5.1.1 DOSISABHAENGIGKEIT UND EINFLUSS DER ENERGIE.36
5.1.2 UNTERSUCHUNG DER DEFEKTSTRUKTUR.
.43
5.1.3 EINFLUSS DER TEMPERATUR
.51
5.1.4 UNTERSUCHUNG DER DOSISRATENABHAENGIGKEIT.56
5.1.5 EINFLUSS DER MASSE DER IONEN.59
5.2 UNTERSUCHUNGEN IN INP.60
5.2.1 DOSISABHAENGIGKEIT UND EINFLUSS DER MASSE.60
5.2.2 EINFLISS DER TEMPERATUR.65
5.3 ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE FUER MITTLERE ENERGIEN.70
6. STRAHLENSCHAEDENERZEUGUNG BEI HOCHENERGIEIMPLANTATION.73
6.1 UNTERSUCHUNGEN IN INP.74
6.1.1 DOSISABHAENGIKEIT UND EINFLISS DER ENERGIE.74
6.1.2 EINFLISS DER TEMPERATUR.89
6.1.3 SCHLUSSFOLGERUNGEN UND BETRACHTUNGEN ZUM MODELL.91
6.2 UNTERSUCHUNGEN IN GAAS.95
6.3 ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE FUER HOHE ENERGIEN.98
7. ZUSAMMENFASSUNG.101
8. LITERATUR
102
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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