Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion:
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
UEBERBLICK
OBER
METHODEN
UND
MODELLE
ZUR
SIMULATION
5
DER
IONENIMPLANTATION
2.1
MONTE-CARLO
SIMULATION
5
2.2
TRANSPORTTHEORETISCHE
BERECHNUNGEN
7
2.3
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
VERTIKALER
DOTIERUNGSPROFILE
10
2.4
MEHRDIMENSIONALE
ANALYTISCHE
MODELLE
14
2.5
NEUES
MODELL
FUER
DIE
TIEFENABHAENGIGKEIT
DER
LATERALEN
KURTOSIS
20
2.6
PROBLEME
BEI
DER
IMPLEMENTIERUNG
ANALYTISCHER
MODELLE
25
3.
UEBERBLICK
UEBER
MODELLE
UND
NUMERISCHE
VERFAHREN
ZUR
SIMULATION
27
DER
DIFFUSION
VON
DOTIERUNGSATOMEN
3.1
MODELLE
FUER
DIE
DIFFUSION
UNTER
INERTEN
BEDINGUNGEN
28
3.2
MODELLE
FUER
DIE
DIFFUSION
UNTER
OXIDIERENDEN
BEDINGUNGEN
37
3.3
GRUNDPRINZIPIEN
DER
NUMERISCHEN
LOESUNG
VON
DIFFUSIONSGLEICHUNGEN
41
3.4
BEISPIELE
FUER
DREIDIMENSIONALE
EFFEKTE
49
4.
PROBLEME
DER
DISKRETISIERUNG
UND
GITTERGENERATION
BEI
51
MEHRDIMENSIONALEN
NICHTPLANAREN
GEOMETRIEN
4.1
DISKRETISIERUNG
MITTELS
DES
FINITE
DIFFERENZEN
VERFAHRENS
52
4.2
FINITE
ELEMENTE
VERFAHREN
ZUR
LOESUNG
PARTIELLER
DIFFERENTIALGLEICHUNGEN
58
4.3
DIE
BOXMETHODE
ZUR
DISKRETISIERUNG
PARTIELLER
DIFFERENTIALGLEICHUNGEN
61
4.4
DAS
QUADTREE
UND
DAS
OCTREE-VERFAHREN
65
4.5
DISKRETISIERUNG
DER
SEGREGATIONSRANDBEDINGUNG
78
5.
NEUES
VERFAHREN
ZUR
GITTERGENERATION
BEI
MEHRDIMENSIONALEN
81
ZEITABHAENGIGEN
GEOMETRIEN
5.1
MEHRDIMENSIONALE
DARSTELLUNG
ALLGEMEINER
RAENDER
83
5.2
GENERATION
UND
ADAPTION
DES
OBERFLAECHENGITTERS
115
5.3
DELAUNAY-ZERLEGUNG
DES
ZWEIDIMENSIONALEN
OBERFLAECHENGITTERS
131
5.4
DELAUNAY-ZERLEGUNG
DES
DREIDIMENSIONALEN
OBERFLAECHENGITTERS
140
5.5
GENERATION
UND
ADAPTION
DES
VOLUMENGITTERS
174
5.6
VERKNUEPFUNG
VON
OBERFLAECHEN
UND
VOLUMENGITTER
183
X
6.
MEHRDIMENSIONALE
SIMULATION
VON
DOTIERUNGSSCHRITTEN
203
6.1
PRINZIP
DES
PROJEKTIONSALGORITHMUS
ZUR
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
203
6.2
DREIDIMENSIONALER
PROJEKTIONSALGORITHMUS
ZUR
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
209
6.3
BEISPIELE
ZUR
DREIDIMENSIONALEN
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
219
6.4
SIMULATION
DER
DIFFUSION
BEI
ALLGEMEINEN
GEOMETRIEN
224
7.
ZUSAMMENFASSUNG,
WERTUNG
UND
AUSBLICK
229
8.
LITERATUR
235
9.
INDEX
247
10.
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
253
10.1
BEITRAEGE
IN
ZEITSCHRIFTEN
UND
KONFERENZBAENDEN
253
10.2
HERAUSGEGEBENE
BUECHER
260
LEBENSLAUF
261 |
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