Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2000,4 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache |
| Beschreibung: | X, 261 S. graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 382658063X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013411611 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160114 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 001024s2000 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 959967621 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 382658063X |c kart. : DM 98.00, sfr 98.00, S 689.00 |9 3-8265-8063-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)76195278 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013411611 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-634 | ||
| 084 | |a ZN 4180 |0 (DE-625)157370: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4800 |0 (DE-625)157408: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Lorenz, Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion |c Jürgen Lorenz |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2000 | |
| 300 | |a X, 261 S. |b graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2000,4 | |
| 500 | |a Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 502 | |a Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2000 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Prozesssimulation |0 (DE-588)4176077-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diskretisierung |0 (DE-588)4012469-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Triangulation |0 (DE-588)4186017-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Prozesssimulation |0 (DE-588)4176077-3 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Triangulation |0 (DE-588)4186017-2 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Diskretisierung |0 (DE-588)4012469-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2000,4 |w (DE-604)BV010300264 |9 2000,4 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009152269&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009152269 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1816443770377338880 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
UEBERBLICK
OBER
METHODEN
UND
MODELLE
ZUR
SIMULATION
5
DER
IONENIMPLANTATION
2.1
MONTE-CARLO
SIMULATION
5
2.2
TRANSPORTTHEORETISCHE
BERECHNUNGEN
7
2.3
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
VERTIKALER
DOTIERUNGSPROFILE
10
2.4
MEHRDIMENSIONALE
ANALYTISCHE
MODELLE
14
2.5
NEUES
MODELL
FUER
DIE
TIEFENABHAENGIGKEIT
DER
LATERALEN
KURTOSIS
20
2.6
PROBLEME
BEI
DER
IMPLEMENTIERUNG
ANALYTISCHER
MODELLE
25
3.
UEBERBLICK
UEBER
MODELLE
UND
NUMERISCHE
VERFAHREN
ZUR
SIMULATION
27
DER
DIFFUSION
VON
DOTIERUNGSATOMEN
3.1
MODELLE
FUER
DIE
DIFFUSION
UNTER
INERTEN
BEDINGUNGEN
28
3.2
MODELLE
FUER
DIE
DIFFUSION
UNTER
OXIDIERENDEN
BEDINGUNGEN
37
3.3
GRUNDPRINZIPIEN
DER
NUMERISCHEN
LOESUNG
VON
DIFFUSIONSGLEICHUNGEN
41
3.4
BEISPIELE
FUER
DREIDIMENSIONALE
EFFEKTE
49
4.
PROBLEME
DER
DISKRETISIERUNG
UND
GITTERGENERATION
BEI
51
MEHRDIMENSIONALEN
NICHTPLANAREN
GEOMETRIEN
4.1
DISKRETISIERUNG
MITTELS
DES
FINITE
DIFFERENZEN
VERFAHRENS
52
4.2
FINITE
ELEMENTE
VERFAHREN
ZUR
LOESUNG
PARTIELLER
DIFFERENTIALGLEICHUNGEN
58
4.3
DIE
BOXMETHODE
ZUR
DISKRETISIERUNG
PARTIELLER
DIFFERENTIALGLEICHUNGEN
61
4.4
DAS
QUADTREE
UND
DAS
OCTREE-VERFAHREN
65
4.5
DISKRETISIERUNG
DER
SEGREGATIONSRANDBEDINGUNG
78
5.
NEUES
VERFAHREN
ZUR
GITTERGENERATION
BEI
MEHRDIMENSIONALEN
81
ZEITABHAENGIGEN
GEOMETRIEN
5.1
MEHRDIMENSIONALE
DARSTELLUNG
ALLGEMEINER
RAENDER
83
5.2
GENERATION
UND
ADAPTION
DES
OBERFLAECHENGITTERS
115
5.3
DELAUNAY-ZERLEGUNG
DES
ZWEIDIMENSIONALEN
OBERFLAECHENGITTERS
131
5.4
DELAUNAY-ZERLEGUNG
DES
DREIDIMENSIONALEN
OBERFLAECHENGITTERS
140
5.5
GENERATION
UND
ADAPTION
DES
VOLUMENGITTERS
174
5.6
VERKNUEPFUNG
VON
OBERFLAECHEN
UND
VOLUMENGITTER
183
X
6.
MEHRDIMENSIONALE
SIMULATION
VON
DOTIERUNGSSCHRITTEN
203
6.1
PRINZIP
DES
PROJEKTIONSALGORITHMUS
ZUR
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
203
6.2
DREIDIMENSIONALER
PROJEKTIONSALGORITHMUS
ZUR
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
209
6.3
BEISPIELE
ZUR
DREIDIMENSIONALEN
SIMULATION
DER
IONENIMPLANTATION
219
6.4
SIMULATION
DER
DIFFUSION
BEI
ALLGEMEINEN
GEOMETRIEN
224
7.
ZUSAMMENFASSUNG,
WERTUNG
UND
AUSBLICK
229
8.
LITERATUR
235
9.
INDEX
247
10.
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
253
10.1
BEITRAEGE
IN
ZEITSCHRIFTEN
UND
KONFERENZBAENDEN
253
10.2
HERAUSGEGEBENE
BUECHER
260
LEBENSLAUF
261 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Lorenz, Jürgen |
| author_facet | Lorenz, Jürgen |
| author_role | aut |
| author_sort | Lorenz, Jürgen |
| author_variant | j l jl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013411611 |
| classification_rvk | ZN 4180 ZN 4800 |
| ctrlnum | (OCoLC)76195278 (DE-599)BVBBV013411611 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV013411611</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160114</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">001024s2000 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">959967621</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">382658063X</subfield><subfield code="c">kart. : DM 98.00, sfr 98.00, S 689.00</subfield><subfield code="9">3-8265-8063-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76195278</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013411611</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4180</subfield><subfield code="0">(DE-625)157370:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4800</subfield><subfield code="0">(DE-625)157408:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lorenz, Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion</subfield><subfield code="c">Jürgen Lorenz</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2000</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">X, 261 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2000,4</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2000</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozesssimulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176077-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diskretisierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012469-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Triangulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4186017-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Prozesssimulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176077-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Triangulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4186017-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Diskretisierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012469-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2000,4</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010300264</subfield><subfield code="9">2000,4</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009152269&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009152269</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013411611 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-11-22T17:16:10Z |
| institution | BVB |
| isbn | 382658063X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009152269 |
| oclc_num | 76195278 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-634 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-634 |
| physical | X, 261 S. graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2000 |
| publishDateSearch | 2000 |
| publishDateSort | 2000 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| series2 | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| spelling | Lorenz, Jürgen Verfasser aut Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion Jürgen Lorenz Aachen Shaker 2000 X, 261 S. graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlanger Berichte Mikroelektronik 2000,4 Zsfassung in engl. Sprache Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2000 Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 gnd rswk-swf Diskretisierung (DE-588)4012469-1 gnd rswk-swf Triangulation (DE-588)4186017-2 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd rswk-swf Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s Diffusion (DE-588)4012277-3 s Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 s Triangulation (DE-588)4186017-2 s Diskretisierung (DE-588)4012469-1 s DE-604 Erlanger Berichte Mikroelektronik 2000,4 (DE-604)BV010300264 2000,4 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009152269&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Lorenz, Jürgen Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion Erlanger Berichte Mikroelektronik Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 gnd Diskretisierung (DE-588)4012469-1 gnd Triangulation (DE-588)4186017-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4176077-3 (DE-588)4012469-1 (DE-588)4186017-2 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4113826-0 (DE-588)4012277-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion |
| title_auth | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion |
| title_exact_search | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion |
| title_full | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion Jürgen Lorenz |
| title_fullStr | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion Jürgen Lorenz |
| title_full_unstemmed | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion Jürgen Lorenz |
| title_short | Diskretisierung und Gittergeneration für die mehrdimensionale Simulation von Implantation und Diffusion |
| title_sort | diskretisierung und gittergeneration fur die mehrdimensionale simulation von implantation und diffusion |
| topic | Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 gnd Diskretisierung (DE-588)4012469-1 gnd Triangulation (DE-588)4186017-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd |
| topic_facet | Prozesssimulation Diskretisierung Triangulation Ionenimplantation Halbleiterbauelement Diffusion Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009152269&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010300264 |
| work_keys_str_mv | AT lorenzjurgen diskretisierungundgittergenerationfurdiemehrdimensionalesimulationvonimplantationunddiffusion |