Auswirkung der Präzipitation von Sauerstoff in Silizium auf ausbeuterelevante Parameter bei der Bauelementeherstellung:
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1999
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1-1
AUSWIRKUNG
DER
PRAEZIPITATION
VON
SAUERSTOFF
IN
SILIZIUM
AUF
AUSBEUTERELEVANTE
PARAMETER
BEI
DER
BAUELEMENTEHERSTELLUNG
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
PROBLEINDEFLNLTION.^.-.^.^.,.
1-3
2.1
KRISTALLSTRUKTUR
.
2-6
2.2
PUNKTDEFEKTE
.
2-7
2.2.1
ALLGEMEINES
.
2-7
2.2.2
LOESLICHKEIT
VON
PUNKTDEFEKTEN
.
2-8
2.2.3
DIFFUSION
VON
PUNKTDEFEKTEN
.
2-9
2.2.4
EIGENPUNKTDEFEKTE
.
2-10
2.2.5
EXTRINSISCHE
PUNKTDEFEKTE
.
2-15
2.3
VERSETZUNGEN
IM
SILIZIUMGITTER
.
2-13
2.3.1
ALLGEMEINES
.
2-18
2.3.2
VERSETZUNGSMULTIPLIKATION
.
2-21
2.4
PLANARE
DEFEKTE
.
2-22
2.5
VOLUMENDEFEKTE
.
2-24
3
EXPERIMENTELLE
METHODEN
3-25
3.1
HERSTELLUNG
DER
NITRIDSTEGE
.
3-25
3.2
DEFEKTAETZEN
/
CHEMISCHES
PREFERENTIELLES
AETZEN
.
3-27
3.3
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.
3-30
3.4
METHODEN
ZUR
BESTIMMUNG
VON
MECHANISCHEN
SPANNUNGEN
.
3-32
3.4.1
MESSUNG
VON
SCHICHTSPANNUNGEN
.
3-32
3.4.2
RAMAN-SPEKTROSKOPIE
.
3-34
3.4.3
EINFLUSS
VON
MECHANISCHEN
SPANNUNGEN
AUF
DIE
RAMANVERSCHIEBUNG
.
3-38
4
DIE
PRAEZIPITATION
DES
SAUERSTOFFES
IN
SILIZIUM
4.1
SAUERSTOFF
IM
CZ
SILIZIUM
.
4-40
4.2
FUNDAMENTALE
EIGENSCHAFTEN
DES
SAUERSTOFFES
IM
SILIZIUM
.
4-42
4.2.1
POSITION
IM
SILIZIUMGITTER
.
4-42
4.2.2
LOESLICHKEIT
.
4-43
4.2.3
DIFFUSION
.
4-44
4.3
DIE
SAUERSTOFTPRAEZIPITATION
.
4-45
4.3.1
ALLGEMEINES
.
4-45
4.3.2
NUKLEATION
UND
WACHSTUM
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATE
.
4-46
4.3.3
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
4-50
1-2
4.3.4
GENERATIONSRATEN
VON
INTERSTITIALS
BEI
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATION
.
4-61
4.3.5
EINFLUSS
DER
DOTIERSTOFFKONZENTRATION
AUF
DIE
PRAEZIPITATENTSTEHUNG
.
4-62
5
MECHANISCHE
SPANNUNGEN
UND
ENTSTEHUNG
VON
VERSETZUNGEN
5-68
5.1
URSACHEN
VON
MECHANISCHEN
SPANNUNGEN
.
5-68
5.1.1
THERMISCHE
SPANNUNGEN
.
5-68
5.1.2
SCHICHTSPANNUNGEN
.
5-69
5.2
BERECHNUNG
DER
SPANNUNGEN
.
5-71
5.2.1
KRAFT
AUF
VERSETZUNGEN
.
5-72
5.3
MODELLE
DER
VERSETZUNGSENTSTEHUNG
.
5-82
5.3.1
1
10
AUSGERICHTETE
KANTEN
.
5-82
5.3.2
BESTIMMUNG
DER
KRITISCHEN
SCHICHTDICKE
.
5-87
5.3.3
VERSETZUNGEN
AN
100
ORIENTIERTEN
KANTEN
.
5-99
5.3.4
EINFLUSS
DER
MASKENORIENTIERUNG
AUF
DIE
VERSETZUNGSENTSTEHUNG
.
5-106
5.3.5
EINFLUSS
DES
RASTERMASSES
AUF
DIE
ENTSTEHUNG
VON
VERSETZUNGEN
.
5-111
6
EINFLUSS
DES
SUBSTRATMATERIALS
AUF
DIE
ENTSTEHUNG
VON
VERSETZUNGEN.
-
-
.
-
.^
-
-
-YY
-
.6-133
6.1
EINFLUSS
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATION
AUF
DIE
ENTSTEHUNG
VON
VERSETZUNGEN
.
6-133
6.2
EINFLUSS
DER
SUBSTRATDOTIERUNG
AUF
DIE
VERSETZUNGSDICHTEN
AN
NITRIDKANTEN
.
6-146
7
EINFLUSS
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATION
AUF
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
7-151
7.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
SAUERSTOFFPRAEZIPITATION
UND
BESTIMMUNG
DER
PRAEZIPITATFREIEN
ZONE
MIT
HILFE
DER
ELYMAT
TECHNIK
.
7-151
7.1.1
GENERATIONS-ZREKOMBINATIONSVORGAENGE
IM
SILIZIUM
.
7-152
7.1.2
DIE
ELYMAT-MESSTECHNIK
.
7-155
7.1.3
EXPERIMENTELLE
DETAILS
.
7-158
7.1.4
EINFLUSS DER
SAUERSTOFLPRAEZIPITATION
AUF
DIE
MINORITAETENDIFFUSIONSLAENGE
.
7-158
7.1.5
SIMULTANE
BESTIMMUNG
DER
BMD-DICHTE
UND
PRAEZIPITATFREIER
SCHICHTDICKE
.
7-163
7.2
EINFLUSS
VON
SAUERSTQSSPRAEZIPITATEN
AUF
GENERATIONS
UND
DIFFUSIONSSTROM
.
7-175
7.2.1
DIE
BESTIMMUNG
VON
GENERATIONS
UND
DIFFUSIONSSTROM
MIT
HILFE
VON
HOCHFREQUENTEN
CV
MESSUNGEN.
.
7-176
7.2.2
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
7-183
ZUSAMMENFASSUNG
-
9
ABBUDUNGSVERZEICHNIS
9-201
10
EIGENE
VOR
TRAEGE
UND
VERUEFFIMI
RLICHMIG
MI
--------
---------------
.
-
-
.
-
------------
-
.
-
.
-
.
10-205
11
LITERATURVERZEICHNIS.
11-207 |
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