Optische Nahfeldmikroskopie: Untersuchungen zur Scherkraft-Abstandregelung
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Marburg
Görich und Weiershäuser
2000
|
| Schriftenreihe: | Wissenschaft in Dissertationen
Bd. 574 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VI, 134 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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I
INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
1
UEBERSICHT:
RASTER-SONDEN-MIKROSKOPIE
5
1.1
RASTER-TUNNEL-MIKROSKOPIE
.
7
1.2
RASTER-KRAFT-MIKROSKOPIE
.
7
1.3
OPTISCHE
RASTER-SONDEN-MIKROSKOPIE
(SNOM)
.
9
1.3.1
ARBEITSMODI
EINES
NAHFELDMIKROSKOPS
.
10
2
THEORETISCHER
UEBERBLICK
13
2.1
KONVENTIONELLE
MIKROSKOPIE
.
13
2.2
OPTISCHE
NAHFELDMIKROSKOPIE
.
;
.
15
2.3
REFLEXIONS-NAHFELDMIKROSKOPIE
.
19
3
AUFBAU
DES
NAHFELDMIKROSKOPS
23
3.1
DAS
RASTERSONDENMIKROSKOP
.
23
3.2
HERSTELLUNG
DER
NAHFELDOPTISCHEN
SONDEN
.
26
3.2.1
GEZOGENE
SONDEN
.
28
3.2.2
GEAETZTE
SONDEN
.
29
3.3
UEBERBLICK
UEBER
METHODEN
ZUR
ABSTANDSREGELUNG
.
32
3.4
ABSTANDSREGLUNG:
PIEZOELEKTRISCHE
STIMMGABEL
.
33
3.5
ABSTANDSREGELUNG:
AUFBAU
DER
ELEKTRONIK
.
34
3.6
SIMULATIONEN
.
36
3.6.1
STIMMGABEL
ALS
SCHWINGENDER
STAB
.
36
3.6.2
VERGLEICH
MIT
HARMONISCHEM
OSZILLATOR
UND
ERSATZSCHALTBILD
.
.
38
3.6.3
SIMULATION
DER
SCHERKRAFTDETEKTION
.
41
3.6.4
VERGLEICH
DES
MECHANISCHEN
UND
ELEKTRISCHEN
VERHALTENS
.
43
3.7
ABSTANDSREGELUNG:
FREQUENZANTWORT
.
46
3.7.1
GRUNDLAGEN
.
46
3.7.2
MESSUNG
DER
FYEQUENZANTWORT
UND
SIMULATIONEN
.
47
3.7.3
METHODE
DER
SIMULATION
.
50
3.7.4
FOLGERUNGEN
UND
OPTIMIERUNG
.
54
3.7.5
VERALLGEMEINERUNG
FUER
ANDERE
GUETEN
Q
.
56
3.7.6
SIGNAL
UND
BANDBREITE
.
56
3.7.7
VERGLEICH
MIT
ANDEREN
DETEKTIONSSYSTEMEN
.
60
3.8
MESSUNGEN
MIT
DEM
NAHFELDMIKROSKOP
.
62
3.8.1
TRANSMISSIONSMESSUNGEN
AN
EINEM
GITTER
.
62
3.8.2
TIEFTEMPERATUR-RASTER-SCHERKRAFT-MIKROSKOP
.
63
3.8.3
VERTIKALES
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
DER
ABSTANDSREGELUNG
.
65
II
INHALTSVERZEICHNIS
4
EXPERIMENTE
ZUM
SCHERKRAFTMECHANISMUS
71
4.1
EINFUEHRUNG
.
71
4.2
AUFBAU,
BESCHREIBUNG
DER
EXPERIMENTE
.
72
4.3
SIMULATIONEN
UND
DATENAUSWERTUNG
.
77
4.3.1
UMRECHNUNG
DER
ELEKTRISCHEN
IN
MECHANISCHE
GROESSEN
.
78
4.3.2
VERGLEICH
ZWISCHEN
MODELL
UND
EXPERIMENT
.
79
4.3.3
AUFTRAGUNG
DER
MESSDATEN
.
84
4.4
VERHALTEN
BEI
VERSCHIEDENEN
ANREGUNGSAMPLITUDEN
.
88
4.5
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
MATERIALSYSTEME
.
93
4.6
ABSTANDS-CHARAKTERISTIKA
BEI
VARIATION
VON
DRUCK
UND
TEMPERATUR
.
.
104
5
EXPERIMENTE
MIT
DEM
REFLEXIONS-SNOM
111
5.1
AUFBAU
DES
REFLEXIONS-NAHFELD-MIKROSKOPS
.
111
5.2
EXPERIMENTE
MIT
DEM
DP-RSNOM
AN
EINER
CD-R
.
113
5.3
MESSUNGEN
AN
EINER
HALBLEITERHETEROSTRUKTUR
.
118
6
ZUSAMMENFASSUNG
123
7
AUSBLICK
125
LITERATURVERZEICHNIS
127
DANKSAGUNG
135 |
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