Zn(MgS)Se-Schichtstrukturen für blaue Lichtemitter:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 |
| Beschreibung: | 182 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| ISBN: | 3826579852 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
1
2
GRUNDLAGEN
7
2.1
DAS
MATERIALSYSTEM
ZN-MG-S-SE
.
7
2.1.1
DER
BINAERE
HALBLEITER
ZNSE
.
7
2.1.2
DER
TERNAERE
MISCHKRISTALL
ZNSSE
.
9
2.1.3
DER
QUATERNAERE
MISCHKRISTALL
ZNMGSSE
.
11
2.1.4
DIE
DOTIERUNG
.
13
2.1.5
HALBLEITER-HETEROUEBERGAENGE
.
17
2.1.6
DER
BRECHUNGSINDEX
VON
ZN-MG-S-SE
.
19
2.2
DIE
METALLORGANISCHE
GASPHASENEPITAXIE
.
21
2.2.1
DER
EXPERIMENTELLE
AUFBAU
.
22
2.2.2
DER
WACHSTUMSPROZESS
IN
DER
MOVPE
.
24
2.2.3
DIE
VERWENDETEN
METALLORGANISCHEN
QUELLEN
.
25
2.3
CHARAKTERISIERUNGS
UND
PROZESSIERUNGSMETHODEN
.
27
2.3.1
DIE
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
27
2.3.2
DIE
ELEKTRONENSONDEN-MIKROANALYSE
.
29
2.3.3
DIE
PHOTOLUMINESZENZMESSUNG
.
29
2.3.4
DIE
ANREGUNGSPHOTOLUMINESZENZMESSUNG
.
35
2.3.5
DIE
KATHODOLUMINESZENZSPEKTROSKOPIE
.
35
2.3.6
DIE
ELEKTROLUMINESZENZMESSUNG
.
36
2.3.7
DIE
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
36
2.3.8
DIE
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
40
2.3.9
DIE
RASTERTRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
40
2.3.10
DIE
ELEKTRONEN-ENERGIEVERLUST-SPEKTROSKOPIE
.
41
2.3.11
DIE
LITHOGRAPHIE
UND
METALLISIERUNG
.
41
2.3.12
STROM-SPANNUNGS-MESSUNGEN
.
41
2.3.13
KAPAZITAETS-SPANNUNGS-MESSUNGEN
.
42
2.4
LEUCHTDIODEN
UND
LASER
.
44
2.4.1
DIE
LED-STRUKTUR
.
44
2.4.2
VERSCHIEDENE
LASERSTRUKTUREN
.
45
3
DIE
DOTIERUNG
VON
ZNSE-SCHICHTEN
53
3.1
MOTIVATION
.
53
3.2
DIE
N-DOTIERUNG
.
53
3.3
DIE
P-DOTIERUNG
.
56
3.3.1
DAS
WACHSTUM
UND
DIE
CHARAKTERISIERUNG
VON
ZNSE:SB
SCHICHTEN
.
56
3.3.2
DIODENSTRUKTUREN
AUS
ZNSE
.
65
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
72
4
DER
HALBLEITER
ZNMGSSE
75
4.1
MOTIVATION
.
75
4.2
DIE
HERSTELLUNG
VON
ZNMGSSE-SCHICHTEN
.
75
4.2.1
DER
ZNSE-PUFFER
.
76
4.2.2
ZNMGSSE-SCHICHTEN
MIT
VERSCHIEDENEN
BANDABSTAENDEN
.
80
4.3
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
81
4.4
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.
84
4.4.1
DIE
ORTSAUFGELOESTE
CHARAKTERISIERUNG
.
98
4.5
ZUSAMMENFASSENDE
BEURTEILUNG
.
101
5
OPTISCH
GEPUMPTE
LASERSTRUKTUREN
107
5.1
MOTIVATION
.
107
5.2
QUANTENTOPFSTRUKTUREN
.
107
5.3
DIE
UNTERSUCHTEN
LASERSTRUKTUREN
.
110
5.4
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
DER
LASERSTRUKTUREN
.
111
5.5
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
LASERSTRUKTUREN
.
115
5.6
DAS
OPTISCH
GEPUMPTE
LASING
.
119
5.7
DEGRADATIONSSTUDIEN
AN
EINER
LASERSTRUKTUR
.
127
5.8
ZUSAMMENFASSUNG
.
134
6
DIE
EPITAXIE
AUF
II-VI-SUBSTRATEN
135
6.1
MOTIVATION
.
135
6.2
ZUR
SUBSTRATVORBEHANDLUNG
.
135
6.3
QUANTENSTRUKTUREN
AUF
ZNSSE-SUBSTRATEN
.
138
6.4
ABSCHLIESSENDE
BEURTEILUNG
.
139
7
DBR-STRUKTUREN
141
7.1
MOTIVATION
.
141
7.2
ZUM
AUFBAU
VON
DBR-STRUKTUREN
.
142
7.3
DIE
KALIBRIERUNG
DER
PARAMETER
.
144
7.4
DIE
CHARAKTERISIERUNG
.
146
7.5
BEURTEILUNG
UND
AUSBLICK
.
149
8
ZUSAMMENFASSUNG,
BEWERTUNG
UND
AUSBLICK
151
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
155
TABELLENVERZEICHNIS
161
LITERATURVERZEICHNIS
163
DANKSAGUNG
181 |
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